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PCE-8等離子清洗機(jī)

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更新時間：2023-02-16 09:48:06瀏覽次數(shù)：188次

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  等離子清洗

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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

PCE-8等離子清洗機(jī)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：PCE-8等離子清洗機(jī)是一款較大型的等離子清洗機(jī)，等離子腔體為 Ø8.5"×12"的石英腔體，采用的射頻電源功率0- 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)，采用的射頻為13.56MHz。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進(jìn)行預(yù)處理，將對生長具有顯著的作用。PCE-8等離子清洗機(jī)配有一個直連式雙旋真空泵，可對腔體進(jìn)行抽真空，同時通入氬氣等保護(hù)氣體，適用于對易氧化的物品的清洗。

產(chǎn)品型號	PCE-8等離子清洗機(jī)
主要特點	1、采用6"彩色觸摸屏，可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。 2、內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計，可以精確地控制進(jìn)氣流量。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：AC220V 2、射頻功率：100W，可在0-100W間調(diào)節(jié) 3、真空泵功率：<500W 4、總功率：<600W 5、射頻：13.56MHz 6、等離子腔體：高純石英腔體，外徑Ø8.5"，內(nèi)徑Ø8.2"，長12"，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行真空密封，法　　　　　蘭設(shè)有一個Ø60mm的觀察窗口 7、極限真空度：50mtorr 8、通入氣體：可通入多種氣體，如N₂、Ar、Air、H₂、O₂和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定）
清洗及蝕刻
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：620mm×450mm×600mm
可選配件	1、300W、600W射頻電源（進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗） 2、2"-6"石英舟（盛放基片） 3、2-4通道浮子混氣系統(tǒng) 4、2-4通道質(zhì)子混氣系統(tǒng) 5、直連式雙旋真空泵（240L/min） 6、KF25波紋管 7、KF25手動擋板閥