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多路質量流量供氣系統(tǒng)

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更新時間：2023-02-15 08:05:17瀏覽次數(shù)：265次

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

多路質量流量供氣系統(tǒng)

詳細介紹

產(chǎn)品簡介：多路質量流量供氣系統(tǒng)是用于控制一種到多種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐，這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架內(nèi)，管式爐可以放在移動架上面，氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥，可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響，在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用，廣泛應用于電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜設備、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器。

產(chǎn)品型號	混氣系統(tǒng)2路質子GSL-2Z、混氣系統(tǒng)3路質子GSL-3Z、混氣系統(tǒng)4路質子GSL-4Z
主要特點	精度高，運行穩(wěn)定可靠，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便。
技術參數(shù)	1、電源：185-245V 50Hz 2、輸出功率：18W 3、控制范圍：GSL-2Z控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCM GSL-3Z控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM GSL-4Z控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM 4、壓力：3×10⁶ Pa 5、準確度：±1%FS 6、線性：±0.5-1.5% 7、重復精度：±0.2%FS 8、響應時間：氣特性1-4s，電特性10s針閥：316不銹鋼 9、工作壓差范圍：0.1-0.5 MPa 10、壓力表測量范圍：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） 11、混氣罐：Ø80mm×120mm 12、截止閥：Ø1/4″，316不銹鋼針閥 13、工作溫度：5-45℃
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：600mm×600mm×650mm