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格林斯達(dá)(北京)環(huán)保科技股份有限公司
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更新時(shí)間:2023-03-17 09:39:20瀏覽次數(shù):195次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線處理風(fēng)量 | 500-300000m3/h | 處理濃度 | xmg/l |
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加工定制 | 是 | 啟燃溫度 | x℃ |
適用領(lǐng)域 | 半導(dǎo)體 |
半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理系統(tǒng):半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的廢氣通過分類密閉收集處理,有酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣、有毒有害廢氣、一般尾氣等。不同類型的廢氣所選用的半導(dǎo)體環(huán)保設(shè)備有所不同。
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半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理系統(tǒng):半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的廢氣通過分類密閉收集處理,有酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣、有毒有害廢氣、一般尾氣等。不同類型的廢氣所選用的半導(dǎo)體環(huán)保設(shè)備有所不同。處理系統(tǒng)有機(jī)臺(tái)端的POU本地處理和廠務(wù)端(Fab)中yang處理系統(tǒng);如熱氧化、CVD、干法刻蝕、離子注入等工藝制程中會(huì)產(chǎn)生特性氣體(硅烷、砷烷、磷烷、全氟烴、含鹵素氣體等有毒和高沸點(diǎn)廢氣),先經(jīng)本地Local Scrubber預(yù)處理,后經(jīng)入廠務(wù)端的中yang處理系統(tǒng)集中處理。 中yang處理系統(tǒng)集中處理有酸性廢氣處理系統(tǒng)(SEX)、堿性廢氣處理系統(tǒng)(AEX)、有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)(VEX)、砷排處理系統(tǒng)(ASX)、一般排氣系統(tǒng)(GEX)等,其中一般排氣系統(tǒng)所排廢氣無污染,起排風(fēng)散熱作用。
Local Scrubber預(yù)處理可避免從排氣過程中引發(fā)風(fēng)管堵塞、管路腐蝕、局部聚積或氣體相互反應(yīng),導(dǎo)致氣體泄漏、火災(zāi)爆炸等事故。 Local Scrubber的處理方法有燃燒水洗、高溫水洗、等離子水洗、干法吸附等。經(jīng)Local Scrubber處理后的廢氣主要為氟化物、氯hua氫、氯氣等,進(jìn)入廠務(wù)端酸性廢氣系統(tǒng)集中處理。
(格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) Local Scrubber 預(yù)處理設(shè)備)
半導(dǎo)體行業(yè)酸性廢氣來源于清洗、濺射、濕法刻蝕、濕法去膠和經(jīng)Local Scrubber處理后的工藝廢氣,其主要組成為HF、HCl、Cl2、H2SO4、SO2等;堿性廢氣主要來源于清洗、濕法刻蝕、光刻顯影、去膠、CMP等工藝,污染物為NH3、NaOH等。堿性廢氣處理工藝也采用噴淋洗滌處理,常用吸收液為H2SO4溶液。
(格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) 立式洗滌塔)
酸性/堿性廢氣洗滌塔分為臥室和立式兩種結(jié)構(gòu),臥式洗滌塔一般適用對(duì)高度有限制的場地,而立式洗滌塔用于廠地面積有限但高度無限的項(xiàng)目上,其處理效率不受影響都可達(dá)98%。
(格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) 臥式洗滌塔)
酸性/堿性洗滌塔采用pH值、液位值和電導(dǎo)值控制水箱中堿液的加入和補(bǔ)/排水的循環(huán),通過測量液位控制補(bǔ)水,電導(dǎo)率控制排水;pH值控制堿液的加入。整個(gè)過程實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化控制,免除人工加藥及檢測過程,操作方便,易于檢修。
半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣主要來源于清洗、CVD、光刻、濕法刻蝕、去膠及擴(kuò)散等工藝;有機(jī)廢氣種類主要包括異丙醇、丙酮、丙二醇單甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸丁酯、重芳烴等。因半導(dǎo)體行業(yè)VOCs廢氣具有風(fēng)量大,濃度低的特點(diǎn),其風(fēng)量通常大于11000m3/h,濃度大約在50~1000mg/m3之間(以非甲烷總烴計(jì))所以常用的半導(dǎo)體有機(jī)廢氣處理技術(shù)即沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+直接燃燒(TO),效率可達(dá)≥95%。
(格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) 沸石轉(zhuǎn)輪+高溫氧化爐TO)
含砷有毒有毒廢氣來源摻雜制程工序,包括砷烷、磷烷和硼wan。目前,隨著國家及各地區(qū)環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)越來越嚴(yán)格,在含砷系統(tǒng)Local Scrubber預(yù)處理后在Fab 中yang端再次進(jìn)行干式吸附,常用設(shè)備為砷磷烷吸附塔,吸附后通過末端風(fēng)機(jī)負(fù)壓達(dá)標(biāo)排放。 砷烷等與吸附劑發(fā)生化學(xué)吸附、復(fù)分解等反應(yīng),生成穩(wěn)定的無毒無害的化合物,吸附劑是砷排系統(tǒng)的關(guān)鍵之重。
(格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) 砷磷烷吸附塔)
格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán),泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理系統(tǒng)解決方案提供商,提供廢氣治理一站式服務(wù)(方案規(guī)劃設(shè)計(jì)、設(shè)備生產(chǎn)及安裝、系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)試、智慧運(yùn)維)。如您有半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理系統(tǒng)、半導(dǎo)體廢氣處理需求,即刻聯(lián)系我們吧!
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