中文乱码人妻一区二区三区在线-国产亚洲美女精品一区-欧美性情大片一区二区-中文有码在线观看免费

行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品


當(dāng)前位置:格林斯達(dá)(北京)環(huán)??萍脊煞萦邢薰?/a>>>廢氣處理系統(tǒng)>>半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理系統(tǒng)

半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理系統(tǒng)

返回列表頁
參  考  價(jià):100 - 19999999
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào)

  • 品牌

    其他品牌

  • 廠商性質(zhì)

    其他

  • 所在地

    北京市

聯(lián)系方式:格林斯達(dá)查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2023-03-17 09:39:20瀏覽次數(shù):195次

聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線

產(chǎn)品簡介
處理風(fēng)量 500-300000m3/h 處理濃度 xmg/l
加工定制 啟燃溫度 x℃
適用領(lǐng)域 半導(dǎo)體    

半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理系統(tǒng):半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的廢氣通過分類密閉收集處理,有酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣、有毒有害廢氣、一般尾氣等。不同類型的廢氣所選用的半導(dǎo)體環(huán)保設(shè)備有所不同。

詳細(xì)介紹

【注】:因此產(chǎn)品發(fā)布于B2B平臺(tái),當(dāng)您發(fā)起詢價(jià)時(shí)會(huì)存在信息回復(fù)不及時(shí)等問題。如您對(duì)我司此產(chǎn)品有需求,請(qǐng)您搜索“格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán)"進(jìn)入GuanWang發(fā)起詢價(jià),感謝您的支持。


半導(dǎo)體廢氣處理系統(tǒng)簡介

半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理系統(tǒng):半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的廢氣通過分類密閉收集處理,有酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣、有毒有害廢氣、一般尾氣等。不同類型的廢氣所選用的半導(dǎo)體環(huán)保設(shè)備有所不同。處理系統(tǒng)有機(jī)臺(tái)端的POU本地處理和廠務(wù)端(Fab)中yang處理系統(tǒng);如熱氧化、CVD、干法刻蝕、離子注入等工藝制程中會(huì)產(chǎn)生特性氣體(硅烷、砷烷、磷烷、全氟烴、含鹵素氣體等有毒和高沸點(diǎn)廢氣),先經(jīng)本地Local Scrubber預(yù)處理,后經(jīng)入廠務(wù)端的中yang處理系統(tǒng)集中處理。 中yang處理系統(tǒng)集中處理有酸性廢氣處理系統(tǒng)(SEX)、堿性廢氣處理系統(tǒng)(AEX)、有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)(VEX)、砷排處理系統(tǒng)(ASX)、一般排氣系統(tǒng)(GEX)等,其中一般排氣系統(tǒng)所排廢氣無污染,起排風(fēng)散熱作用。


LOCAL SCRUBBER 半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備

Local Scrubber預(yù)處理可避免從排氣過程中引發(fā)風(fēng)管堵塞、管路腐蝕、局部聚積或氣體相互反應(yīng),導(dǎo)致氣體泄漏、火災(zāi)爆炸等事故。 Local Scrubber的處理方法有燃燒水洗、高溫水洗、等離子水洗、干法吸附等。經(jīng)Local Scrubber處理后的廢氣主要為氟化物、氯hua氫、氯氣等,進(jìn)入廠務(wù)端酸性廢氣系統(tǒng)集中處理。


3-230201093F3932.jpg

(格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) Local Scrubber 預(yù)處理設(shè)備)


半導(dǎo)體酸性/堿性廢氣處理設(shè)備

半導(dǎo)體行業(yè)酸性廢氣來源于清洗、濺射、濕法刻蝕、濕法去膠和經(jīng)Local Scrubber處理后的工藝廢氣,其主要組成為HF、HCl、Cl2、H2SO4、SO2等;堿性廢氣主要來源于清洗、濕法刻蝕、光刻顯影、去膠、CMP等工藝,污染物為NH3、NaOH等。堿性廢氣處理工藝也采用噴淋洗滌處理,常用吸收液為H2SO4溶液。


638119848884129685574.png

(格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) 立式洗滌塔)


酸性/堿性廢氣洗滌塔分為臥室和立式兩種結(jié)構(gòu),臥式洗滌塔一般適用對(duì)高度有限制的場地,而立式洗滌塔用于廠地面積有限但高度無限的項(xiàng)目上,其處理效率不受影響都可達(dá)98%。


3-23020110355RQ.png

(格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) 臥式洗滌塔)


酸性/堿性洗滌塔采用pH值、液位值和電導(dǎo)值控制水箱中堿液的加入和補(bǔ)/排水的循環(huán),通過測量液位控制補(bǔ)水,電導(dǎo)率控制排水;pH值控制堿液的加入。整個(gè)過程實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化控制,免除人工加藥及檢測過程,操作方便,易于檢修。

半導(dǎo)體有機(jī)廢氣處理設(shè)備

半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣主要來源于清洗、CVD、光刻、濕法刻蝕、去膠及擴(kuò)散等工藝;有機(jī)廢氣種類主要包括異丙醇、丙酮、丙二醇單甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸丁酯、重芳烴等。因半導(dǎo)體行業(yè)VOCs廢氣具有風(fēng)量大,濃度低的特點(diǎn),其風(fēng)量通常大于11000m3/h,濃度大約在50~1000mg/m3之間(以非甲烷總烴計(jì))所以常用的半導(dǎo)體有機(jī)廢氣處理技術(shù)即沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+直接燃燒(TO),效率可達(dá)≥95%。


3-230201105R54K.jpg

(格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) 沸石轉(zhuǎn)輪+高溫氧化爐TO)


半導(dǎo)體有毒廢氣處理設(shè)備

含砷有毒有毒廢氣來源摻雜制程工序,包括砷烷、磷烷和硼wan。目前,隨著國家及各地區(qū)環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)越來越嚴(yán)格,在含砷系統(tǒng)Local Scrubber預(yù)處理后在Fab 中yang端再次進(jìn)行干式吸附,常用設(shè)備為砷磷烷吸附塔,吸附后通過末端風(fēng)機(jī)負(fù)壓達(dá)標(biāo)排放。 砷烷等與吸附劑發(fā)生化學(xué)吸附、復(fù)分解等反應(yīng),生成穩(wěn)定的無毒無害的化合物,吸附劑是砷排系統(tǒng)的關(guān)鍵之重。


3-230201110956201.jpg

(格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) 砷磷烷吸附塔)


格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán),泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理系統(tǒng)解決方案提供商,提供廢氣治理一站式服務(wù)(方案規(guī)劃設(shè)計(jì)、設(shè)備生產(chǎn)及安裝、系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)試、智慧運(yùn)維)。如您有半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理系統(tǒng)、半導(dǎo)體廢氣處理需求,即刻聯(lián)系我們吧!





感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

環(huán)保在線 設(shè)計(jì)制作,未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://mdbeer.net,All rights reserved.

以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),環(huán)保在線對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。 溫馨提示:為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn),建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

會(huì)員登錄

×

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

請(qǐng) 登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
在线观看国产午夜福利| 亚洲高清中文字幕一区二三区 | 日韩精品毛片视频免费看| 日韩精品视频免费观看| 午夜精品在线视频一区| 好吊日在线视频免费观看| 午夜午夜精品一区二区| 在线观看视频国产你懂的| 99久久国产精品亚洲| 精品国产丝袜一区二区| 精品国产日韩一区三区| 日韩欧美一区二区亚洲| 我的性感妹妹在线观看| 亚洲一区精品二人人爽久久| 伊人欧美一区二区三区| 在线亚洲成人中文字幕高清| 国产亚洲精品一二三区| 99精品人妻少妇一区二区人人妻| 91精品视频全国免费| 有坂深雪中文字幕亚洲中文| 91久久精品国产成人| 久久婷婷综合色拍亚洲| 中文字幕亚洲在线一区| 在线观看视频日韩成人| 女生更色还是男生更色 | 热久久这里只有精品视频| 欧美国产日韩变态另类在线看| 色婷婷视频免费在线观看| 五月婷婷欧美中文字幕| 国产传媒欧美日韩成人精品| 99久久国产综合精品二区| 亚洲欧美日韩网友自拍| 内用黄老外示儒术出处| 欧美午夜不卡在线观看| 美女黄色三级深夜福利| 激情亚洲一区国产精品久久| 欧美性猛交内射老熟妇| 精品熟女少妇av免费久久野外 | 国产av一区二区三区四区五区| 人妻乱近亲奸中文字幕| 日韩人妻av中文字幕|