氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度高、操作便捷、低維護，使您放心得到準確可靠的測試結果。產(chǎn)品廣泛應用于科研院所、航kong航天、動力鋰電池，閥門、精密儀表、機械加工、電力、半導體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等行業(yè)。

氦質(zhì)譜檢測儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外氦系惰性氣體，*設備，常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏氣量大小。

氦質(zhì)譜檢漏技術是真空檢漏領域里*的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。

氦質(zhì)譜檢測儀的功能描述：

1.支持正壓檢漏，負壓檢漏；

2.自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結果；

3.優(yōu)化設計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應；

4.高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確?？焖偾搴?；

5.支持氮氣破空，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底；

6.機器的性能支持7*24小時長時間在線測試；

7.機器的性能支持幾秒一次的高頻率測試；

8.配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質(zhì)，確保機器不受雜質(zhì)影響和損傷；

9.雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設計，防大氣沖擊；

10.支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用。

氦質(zhì)譜檢測儀技術參數(shù)：

小可檢漏率（負壓模式）  5×10-13Pa?m3/s

小可檢漏率（正壓模式）  1×10-8Pa?m3/s

檢漏口壓強  粗檢 1500Pa

            中檢 200Pa

            精檢 40Pa

響應時間                ＜1s

啟動時間                ≤3min

前級油泵抽速              0.5L/s  

外形尺寸（W×D×H）         845×465×988

重量                   73Kg