氦質(zhì)譜檢測(cè)儀的功能描述：

1.支持正壓檢漏，負(fù)壓檢漏；

2.自動(dòng)跟蹤本底，提供快速可靠的測(cè)量結(jié)果；

3.優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)；

4.高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確?？焖偾搴ぃ?/span>

5.支持氮?dú)馄瓶?，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底；

6.機(jī)器的性能支持7*24小時(shí)長(zhǎng)時(shí)間在線測(cè)試；

7.機(jī)器的性能支持幾秒一次的高頻率測(cè)試；

8.配有檢漏口精細(xì)過(guò)濾器，過(guò)濾細(xì)微雜質(zhì)，確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷；

9.雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，防大氣沖擊；

10.支持定制檢漏工作臺(tái)，更加便捷使用。

氦質(zhì)譜檢測(cè)儀技術(shù)參數(shù)：

小可檢漏率（負(fù)壓模式）  5×10-13Pa?m3/s

小可檢漏率（正壓模式）  1×10-8Pa?m3/s

檢漏口壓強(qiáng)  粗檢 1500Pa

            中檢 200Pa

            精檢 40Pa

響應(yīng)時(shí)間                ＜1s

啟動(dòng)時(shí)間                ≤3min

前級(jí)油泵抽速              0.5L/s  

外形尺寸（W×D×H）         845×465×988

重量                   73Kg