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詳細介紹
伯東Pfeiffer 普發(fā)磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上海伯東德國普發(fā)Pfeiffer磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M，ATP 2300M：抽速范圍在1400-2800l/s的磁懸浮渦輪分子泵。ATH 系列磁懸浮分子泵擁有5軸磁軸承監(jiān)測系統(tǒng)和實時的轉(zhuǎn)子位移自動修正功能確保長時間的穩(wěn)定性和可靠性，同時運行時也非常安靜。磁懸浮渦輪分子泵 ATH 系列廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜和離子刻蝕等行業(yè)。
伯東Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M，ATP 2300M 優(yōu)點：
1.清潔無油，大抽速
2.免維護低成本保養(yǎng)費
3.渦輪分子泵極低的噪音和震動
4.可任意角度安裝
伯東Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M，ATP 2300M 技術(shù)參數(shù)：：
分子泵型號 | 分子泵連接尺寸 DN | 抽速 l/s | 壓縮比 | zui高啟動壓強hPa | 極限壓力 | 全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s | 啟動時間 | 重量 | |||
進氣口 | 排氣口 | 氮氣 | 氦氣He | 氫氣 H2 | 氮氣 | 氮氣N2 | hPa | 氮氣N2 | min | kg | |
ATH 1603 M ATH 1600 MT | 250 | 40 | 1,400 | 970 | 540 | > 1X108 | 1.7 | < 6X10–9 | 67 | 6 | 42 |
ATH 2303 M ATH 2300 MT | 250 | 40 | 2,150 | 1,800 | 1,100 | > 1X108 | 2.9 | < 6X10–9 | 67 | 8 | 68 |
ATH 2800 M ATH 2800 MT | 250 | 40 | 2,200 | 2,400 | 1,550 | > 1X108 | 2.1 | < 6X10–9 | 84 | 10 | 93 |
ATH 3200 M ATH 3200 MT | 320 | 40 | 2,800 | 2,500 | 1,700 | > 1X108 | 2.1 | < 6X10–9 | 84 | 10 | 93 |
ATP 2300 M | 320 | 40 | 1,950 | 2,050 | 1,700 | > 1X108 | 2.1 | < 6X10–9 | 37 | 8 | 60 |
MT型號的分子泵配有集成加熱帶可以進行溫度控制。其自帶加熱系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)同時作用，可以確保泵的工作溫度相對恒定(zui高工作溫度75°C)，同時zui小化過程化學(xué)物或副產(chǎn)物在泵體內(nèi)因冷凝而產(chǎn)生的沉積。
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