我公司專業(yè)代理經(jīng)銷奧林巴斯MX63/MX63L 半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡，為客戶提供專業(yè)的售前產(chǎn)品咨詢和售后安裝服務(wù)。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡具備優(yōu)異的光學(xué)性能、適合大樣品的檢測(cè)、*的人體工學(xué)設(shè)計(jì)等諸多優(yōu)點(diǎn)將會(huì)有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。
奧林巴斯MX63/MX63L 半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡
現(xiàn)今智能手機(jī)產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展帶動(dòng)了包括半導(dǎo)體、平板顯示（FPD）、印制電路板（PCB）等整個(gè)電子制造業(yè)的飛速進(jìn)步。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡具備優(yōu)異的光學(xué)性能、適合大樣品的檢測(cè)、*的人體工學(xué)設(shè)計(jì)等諸多優(yōu)點(diǎn)將會(huì)有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。
新推出的MX63/MX63L半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡具備有如下的特點(diǎn)：
從不可見到可見：MIX觀察與采集
新MX63/MX63L是該系列支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品，由此進(jìn)一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏振等其他觀察方法結(jié)合使用。在很多應(yīng)用中，MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷
長(zhǎng)壽命高強(qiáng)度白色LED照明：始終*的色溫
新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強(qiáng)度白光LED光源，兼顧低功耗和長(zhǎng)壽命的優(yōu)點(diǎn)，而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質(zhì)量和精確的色彩復(fù)現(xiàn)提供了保障。
功能性：適合所有晶園尺寸
新MX63/MX63L顯微鏡特別適用于半導(dǎo)體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測(cè)。MX63可用于晶圓直徑200mm，MX63L可用于晶圓直徑300mm。此外，新顯微鏡還可以選配晶園搬送機(jī)，實(shí)現(xiàn)可靠、安全、高效的對(duì)晶圓正面和背面進(jìn)行檢測(cè)
模塊化：全面可定制
新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設(shè)計(jì)讓檢測(cè)者能夠根據(jù)應(yīng)用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室應(yīng)用而設(shè)計(jì)，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有電動(dòng)組件均安裝在屏蔽結(jié)構(gòu)內(nèi)，鏡架、鏡筒以及其他部件均經(jīng)過防靜電處理。
人性化：滿足人體工學(xué)的設(shè)計(jì)
新MX63/MX63L顯微鏡采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)，可以快速設(shè)置調(diào)整和簡(jiǎn)易控制。更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制位于顯微鏡前面較低的位置，因此用戶在使用過程中可始終保持透過目鏡觀察而無(wú)須松開對(duì)焦旋鈕。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)迅速，在縮短檢測(cè)間隔時(shí)間的同時(shí)還可讓操作者的手始終在晶圓下方，降低可能存在的污染風(fēng)險(xiǎn)。
憑借這些強(qiáng)大的觀察功能和簡(jiǎn)單的操作特性，MX63/MX63L工業(yè)檢測(cè)顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)快速高效的實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品檢測(cè)。
| MX63 | MX63L |
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無(wú)限遠(yuǎn)校正系統(tǒng)) |
顯微鏡鏡架 | 反射光照明
(FN 26.5) | 白光LED (帶有光強(qiáng)管理器) 12伏100瓦鹵素?zé)? 100瓦汞燈 明場(chǎng)/暗場(chǎng)/分光鏡組，手動(dòng)切換。(分光鏡為選配件。)
通過手動(dòng)操作更換3位置分光鏡編碼
內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌 (針對(duì)每個(gè)物鏡預(yù)設(shè), 暗場(chǎng)觀察時(shí)自動(dòng)全開) 觀察模式: 明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉 (DIC)*1, 簡(jiǎn)單偏振*1, 熒
光*1, 紅外*1 和MIX觀察 (4個(gè)定向暗場(chǎng))
*1 選配分光鏡, 2 需要MIX觀察配置 |
透射光照明
(FN 26.5) | 需要透射光照明單元MX-TILLA或MX-TILLB。
帶有聚光器(NA 0.5) 的透射光照明單元和孔徑光闌:MX-TILLA
帶有聚光器(NA 0.6) 的透射光照明單元和孔徑光闌和視場(chǎng)光闌:MX-TILLB
光源:LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素?zé)? 導(dǎo)光:LG-SF
觀察模式: 明場(chǎng), 簡(jiǎn)單偏振 |
聚焦 | 行程：32毫米
每轉(zhuǎn)行程微調(diào)：100微米
小分度:1微米
用于粗調(diào)的上限限位器和扭矩調(diào)節(jié) |
大負(fù)載重量(包括載物臺(tái)
和支架) | 8 kg | 15 kg |
觀察筒 | 寬視場(chǎng)
(FN 22) | 正像三目觀察筒:U-ETR4
正像傾斜式三目觀察筒:U-TTR-2
倒像三目觀察筒:U-TR30-2、U-TR30IR (用于紅外觀察)
倒像雙目觀察筒:U-BI30-2
倒像傾斜式雙目觀察筒：U-TBI30 |
超寬視場(chǎng)
(FN 26.5) | 正像傾斜式三目觀察筒：MX-SWETTR (光程切換 (目鏡):0 (相機(jī)) 或0:) 正像傾斜式三目觀察筒:U-SWETTR
(光程切換 (目鏡) :0 (相機(jī)) 或 20% :80%) 倒像三目觀察筒:U-SWTR-3 |
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤 | 明場(chǎng)
六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-D6REMC
五孔可調(diào)中心電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-P5REMC
明場(chǎng)和暗場(chǎng)
六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-D6BDREMC
五孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-D5BDREMC
五孔可調(diào)中心電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-P5BDREMC |
載物臺(tái) (X × Y) | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC8R
行程:210 x 210毫米
透射光照明區(qū)域:189 x 189毫米 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸
右手柄:
MX-SIC6R2
行程:158 x 158毫米 (僅適用于反射光) | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC1412R2
行程：356 x 305毫米
透射光照明區(qū)域：356 x 284毫米 |
重量 | 約50公斤 (顯微鏡架37.5公斤) | 約64公斤 (顯微鏡架44公斤) |
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