昆山國華真空等離子清洗設備密封件作用，真空等離子清洗機上不容忽視的密封件,任何一種等離子體加工設備，包括設置在工藝腔室內(nèi)的基座以及托盤，所述托盤設置在所述基座的頂部，所述托盤與所述基座相對的面的一部分朝向所述托盤的上表面方向凹入而形成背吹空間，在所述托盤與所述基座之間設有密封圈，用于密封所還背吹空間，其特征在于，所述密封圈采用權(quán)利要求任意一項所述的密封圈。昆山國華為您一一舉例、
昆山國華真空等離子清洗設備密封件作用
密封圈背景技術
隨著微電子技術的不斷發(fā)展，相關生產(chǎn)企業(yè)的競爭越來越激烈，降低成本、提高生產(chǎn)效率則是提高企業(yè)競爭力的常用手段。如LED光源生產(chǎn)企業(yè)為提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本，在刻蝕工藝過程中采用托盤搬運的方式實現(xiàn)同時搬運和刻蝕多個基片。
在實際使用過程中，由于方形結(jié)構(gòu)的密封圈5不易變形，使得刻蝕加工設備存在問題：*，基座1與托盤2不能很好地接觸，從巾影響基座1與托盤2之間的熱傳導，導致托盤2表面溫度不均勻，從而影響刻蝕工藝的穩(wěn)定性，如溫度較高的區(qū)域可能出現(xiàn)光刻膠崩潰的問題。第二，密封圈5的頂部和內(nèi)側(cè)不易密封，使得背吹空間3不能很好地密封，從而導致氫氣泄漏，這不僅影響丁藝腔室的真空度以及降低氣冷的效果.而且還導致生產(chǎn)成木的增加.在實標應用中，盡管可以通過增加作用在托盤2上的機械力而增大密封網(wǎng)的變形量，但是，增大機械力又容易導致石英材料制成的機械壓環(huán)4味碎，因此，增大作用在托盤上機械力的方式不能完*上述問題。
為解決上述技術問題，作為本實用新型一個優(yōu)選實施例，在密封圈本體內(nèi)側(cè)設置第二凸部，借助第二凸部可以提高密封圈軸向的密封性能。類似地，本實用新型提供的等離子體加工設備，由于采用本實用新型提供的密封圈，借助易于變形的*凸部和第二凸部不僅可以分別提高密封圈徑向和軸向的密封性能，使得背吹空間獲得良好的密封，從而可以減少因氦氣泄漏對工藝腔室真空度的影響，同時減少氦氣的使用量，降低生產(chǎn)成本。而且，*凸部可以使基座和托盤保持良好的接觸，從而提供托盤表面溫度的均勻性，這又使得置于托盤頂部不同位置的基片的刻蝕速度相同，提高刻蝕工藝的穩(wěn)定性，提高產(chǎn)品的質(zhì)量。
密封件的選擇是否合適，是一臺真空等離子清洗機密封性好壞的關鍵。其實，真空等離子清洗機如何選擇合適的密封件也是有方法可循的。真空等離子清洗機上所使用的密封件從種類上分主要有3種，*種是O型密封圈、第二種是管路支架密封件、第三種是密封墊片。
昆山國華真空等離子清洗設備密封件作用
密封圈分類
1.真空等離子清洗機上所使用的O型密封圈
O型密封圈(O-rings) 是一種截面為圓形的橡膠密封圈， 因其截面為O型， 故稱其為O型橡膠密封圈。O型密封圈是機械設計中較常見的密封元件之一。主要運用在真空等離子清洗機的真空腔體與其他部件相連接的部位，起到密封作用，比如真空腔體與真空門之間的密封、饋入電極與真空腔體之間的密封以及真空腔體與真空管路之間的密封。
2.真空等離子清洗機上所使用的管路支架密封件
管路支架密封件是一種運用于真空等離子清洗機外部管路與管路之間相連接的密封件，管路支架密封件一般和真空卡箍一起配合使用，使用時將管路支架密封件放置在管路與管路之間，然后用真空卡箍鎖緊，通過真空卡箍的擠壓，使管路夾緊管路支架密封件，終可實現(xiàn)密封效果。主要優(yōu)點是安裝起來十分方便，無需使用工具；密封性能好，主要運用在真空管路之間的連接處上。
3.真空等離子清洗機上所使用的密封墊片
密封墊片是一種用于有流體的機械、設備所使用的密封件.密封墊片是金屬或非金屬的板狀材質(zhì)，經(jīng)切割、沖壓或裁剪等工藝制作而成的，主要用于機器設備的機件與機件之間的密封連接，用于有流體的機械、設備所使用的密封件，密封墊片是金屬或非金屬的板狀材質(zhì)，經(jīng)切割、沖壓或裁剪等工藝制作而成的。
所以說在真空等離子設備中密封件重要性是如此之大可想而知。
