多晶硅超純水設(shè)備
超純水設(shè)備是用在反滲透等水處理工藝之后,用來(lái)制取超純水的水處理設(shè)備。設(shè)備將陰、陽(yáng)離子按照比例混合裝填于同一容器內(nèi),使其處理后的水質(zhì)電導(dǎo)率可低于1uS/cm以下,出水電阻率達(dá)到10MΩ.cm以上,根據(jù)不同行業(yè)的用水要求,可將出水電阻率可控制在1-18MΩ.cm之間。
多晶硅超純水設(shè)備特點(diǎn)
1、設(shè)計(jì)參數(shù)準(zhǔn)確、系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定;
2、儀器儀表完善,在線讀取運(yùn)行數(shù)據(jù);
3、設(shè)備欠壓或超壓時(shí),可及時(shí)報(bào)警停機(jī);
4、自動(dòng)化程度高,減少人力投入;
5、設(shè)備集成度高,便于運(yùn)輸與安裝。
多晶硅超純水設(shè)備應(yīng)用范圍
1、液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液。
2、晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制。
3、集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片。
4、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路。
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