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真空晶體生長爐

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更新時間：2022-03-25 09:57:31瀏覽次數(shù)：292次

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湖南頂立科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：106條

所在地區(qū)：湖南長沙市

聯(lián)系人：頂立（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

真空晶體生長爐主要用于碳化硅、硒化鋅等晶體的生長

詳細(xì)介紹

真空晶體生長爐技術(shù)特征

采用*的控制技術(shù)，能精密控制爐內(nèi)壓力，爐膛內(nèi)壓力波動??；

采用動密封技術(shù)，能精密控制坩堝移動與旋轉(zhuǎn)；

采用特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能有效控制籽晶位置；

采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置，經(jīng)溫場模擬計(jì)算，能有效控制爐內(nèi)溫場分布；

具備柔性抽真空、爐內(nèi)分壓控制等功能；

采用*的隔熱結(jié)構(gòu)和材料，爐膽隔熱性能好、蓄熱少，

采用特殊的高溫紅外測量技術(shù)，控溫準(zhǔn)確，誤差小。

真空晶體生長爐產(chǎn)品規(guī)格

型號/參數(shù)	VCG-4	VCG-6	VCG-8
產(chǎn)品尺寸	4英寸	6英寸	8英寸
溫度（℃）	2400-2600	2400-2600	2400-2600
溫度均勻性（℃）	±5	±5	±5
極限真空度（Pa）	10^-5-10^-3	10^-5-10^-3	10^-5-10^-3
壓升率（pa/h）	0.67	0.67	0.67

真空晶體生長爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式：上出料/下出料

爐門鎖緊方式：手動/自動

爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全碳鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：高純碳?xì)?石墨氈/固化氈

加熱器：等靜壓石墨/金屬

熱電偶：C/K/N/S分度號

紅外儀：單比色/雙比色

適于工藝氣氛：N₂/Ar/H₂

關(guān)鍵詞：生長爐加熱器熱電偶

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