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EPIC離子/分子分析質(zhì)譜儀

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更新時間:2024-02-02 13:51:51瀏覽次數(shù):164次

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產(chǎn)品簡介

A system for UHV analysis of neutrals, radicals and ions. Measures the ions, neutrals, and partial pressures in UHV/XHV.

詳細(xì)介紹

EPIC離子/分子分析質(zhì)譜儀(EPIC Systems with Pulse Ion Counting and Pole Bias Control)是帶脈沖離子計數(shù)和四級桿偏壓控制的三級過濾四極質(zhì)譜儀,用于高精密科學(xué)分析,過程研究以及中性粒子、自由基、正負(fù)離子的UHV分析。

EPIC離子/分子分析質(zhì)譜儀可增加能量過濾器、Bessel Box能量分析器或45°扇形能量分析器,升級至HidenPlasma/ SIMS系列EQPEQS,PSM Maxim

 

·6、912 mm 直徑的四極桿可選

·±100 eV離子能量分布,1000 eV可選

·離子源控制,以實(shí)現(xiàn)軟離子化及表觀電勢質(zhì)譜

·脈沖離子計數(shù)器,連續(xù)7個數(shù)量級動態(tài)范圍,Faraday 選項(xiàng)為5x1010

·一級過濾處增加射頻,增強(qiáng)抗污染物能力

·信號選通分辨率0.1μs,用于能量、質(zhì)量分布隨時間變化或TOF研究中

·程序升溫脫附時,溫度數(shù)值同步顯示

·標(biāo)配UHV罩,液氮冷卻罩可選 

 ·MASsoft專業(yè)軟件控制

·可升級至Plasma/ SIMS 配置

 

·質(zhì)量數(shù)范圍:      1300  amu(標(biāo)準(zhǔn)配置)

                           50010002500 amu(選配)

·測量速度:         500 points/s

·分辨率:            0.1% Valley、1% Valley

·動態(tài)范圍:         107

·檢測分壓:   5 X 10-15 mbar 1X10-16 mbar

·離子能量:         ±100eV(標(biāo)準(zhǔn)配置)

                           ±1000eV(選配)

·信號選通分辨率:0.1µs

·穩(wěn)定性:            24h以上,峰高變化小于±0.5%

3F Series Mass Spectrometers (0.68MB)

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)

關(guān)鍵詞:質(zhì)譜儀

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