◆通用性
Model 2010/M 數(shù)據(jù)分析軟件是通用的，幾乎可以測量任何薄膜，而無需了解薄膜或基材的光學特性。
◆折射率精度、分辨率和穩(wěn)定性
棱鏡耦合技術為薄膜測量提供比任何其他薄膜測量技術更高的折射率精度和分辨率。此外，由于折射率測量僅對棱鏡的耦合角和折射率敏感（不隨時間變化），因此棱鏡耦合測量隨時間推移非常穩(wěn)定，無需定期校準 2010/M。
◆對折射率隨波長變化引起的誤差不敏感
每張薄膜的折射率隨波長變化。在依賴分光光度法（干涉與波長）的技術中，如果不能準確了解整個波長范圍內薄膜的折射率變化，將會導致很大的誤差。此外，許多薄膜的折射率與波長曲線高度依賴于薄膜沉積條件。對于此類膠片，Model 2010/M 的單色測量具有明顯的優(yōu)勢。如果確定各種波長的折射率，則 2010/M 型可以配置多達五個激光器，并且可以在不到五秒的時間內從單個折射率測量中生成連續(xù)的折射率與波長曲線。
◆相對于橢圓儀的優(yōu)勢
由于橢圓儀數(shù)據(jù)隨薄膜厚度呈周期性變化，單波長橢圓光度法需要預先了解薄膜厚度，精度為 ±75 至 ±125 nm，具體取決于薄膜指數(shù)。直接進行厚度測量的 Model 2010/M 不需要事先了解薄膜厚度。此外，在某些周期性厚度范圍內，使用單波長橢圓光度法進行折射率測量是不可能的。使用 2010/M，一旦薄膜厚度超過某個min閾值（通常為 300-500 nm，取決于薄膜/基材類型），就可以獲得全精度指數(shù)測量值。多波長橢圓偏振儀為準確的薄膜測量提供了可能性，但數(shù)據(jù)分析非常復雜，通常只有在對樣品的光學參數(shù)有廣泛的了解的情況下才能獲得好的結果。
◆材料色散的簡單“光譜”測量
2010/M 型測量離散激光波長的指數(shù)，通常配備 1-5 個激光器。對于具有三個激光器的系統(tǒng)，Metricon 開發(fā)了專有軟件，使用新穎的擬合技術計算（在短短幾秒鐘內）在擴展波長范圍（例如 400-700 nm 或 633-1550 nm）內極其準確的折射率與波長曲線。四個或五個激光系統(tǒng)分別在 400-1064 和 400-1550 nm 范圍內提供準確的色散曲線。在大多數(shù)情況下，在中間波長下計算的指數(shù)值提供的準確度實際上與用激光在該波長下測量的指數(shù)相同。
◆透明基材的測量
2010/M 型可用于測量透明基材上的薄膜，即使薄膜和基材之間的折射率匹配相對接近。此外，棱鏡耦合技術對來自基板背面的反射不敏感，而這對于橢圓偏光法和其他薄膜測量技術來說通常很麻煩。
◆內部自洽性檢查
如果膜厚超過 500-750 nm，則對膜厚和指數(shù)進行多次獨立估計，并顯示這些多次估計的標準差。只要測量標準偏差很低（厚度通常為 0.3%，折射率通常為 0.01%），就不太可能出現(xiàn)明顯的誤差。沒有其他技術可以對每個測量的有效性提供類似的“置信度檢查”。
◆更輕松、更準確地測量散裝材料的折射率
2010/M 可以在 x、y 和 z 方向測量從 1.0 到 3.35 的折射率，并且測量是全自動的，并且沒有傳統(tǒng)折光儀常見的操作員主觀性。2010/M 不需要使用臟亂、有毒或腐蝕性的匹配液，可以處理光學平整度或拋光度相對較差的樣品（甚至可以測量輕微倒圓的鑄造“斑點”）。
