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槽式全自動(dòng)清洗機(jī)

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更新時(shí)間：2022-08-15 14:59:19瀏覽次數(shù)：237次

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北京華林嘉業(yè)科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

生產(chǎn)主線(xiàn)為：設(shè)置為自動(dòng)晶舟上貨，將晶舟置于Robot上貨區(qū)位置，按下【啟動(dòng)鍵】，Robot將自動(dòng)以?shī)A持方式移至制程槽進(jìn)行預(yù)設(shè)之制程，完成設(shè)備本身設(shè)定之流程，達(dá)成一貫性自動(dòng)控制的功能。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長(zhǎng)；及背部設(shè)有吸風(fēng)口，為防止污染空氣，用戶(hù)需外接風(fēng)管抽風(fēng)。本機(jī)臺(tái)是IPC工業(yè)電腦加PLC控制的全自動(dòng)控制系統(tǒng)。

詳細(xì)介紹

*視窗為雙層設(shè)計(jì)，操作安全
*設(shè)備占地面積小
*噴淋裝置噴淋均勻無(wú)死角
*加熱材料高純無(wú)污染，in-line加熱
*有限控制金屬、材料及微粒子的交叉
*溫度自動(dòng)校準(zhǔn)
*軟硬件互鎖裝置保證操作人員人身安全
*支持SMIF自動(dòng)傳輸
*實(shí)時(shí)記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)，多種數(shù)據(jù)分析功能
*軟件支持GEM/SECS接口，提供PAP MES等功能
*工藝柔性化設(shè)計(jì)，工藝更改方便迅速
*優(yōu)化配管設(shè)置，節(jié)約DIW消耗量
*藥液濃度實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)
*多工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，可供用戶(hù)適用和儲(chǔ)存
*槽體流場(chǎng)控制技術(shù)
*高效藥液回收系統(tǒng)
*Maragoni Dryer 低破片率，高潔凈度
*較潔凈藥液回收利用，節(jié)約藥液使用
*易燃化學(xué)品安全穩(wěn)定加熱系統(tǒng)
*易燃化學(xué)品搭載消防系統(tǒng)及切斷排風(fēng)系統(tǒng)，符合消防安全
*自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng)
*系統(tǒng)自動(dòng)排程，多工位并發(fā)處理，高效率運(yùn)行
*擁有多項(xiàng)軟件著作權(quán)
*工藝預(yù)置，過(guò)程數(shù)據(jù)記錄和生產(chǎn)管理
*PC上位機(jī)和PLC觸摸屏的控制和人機(jī)交互界面