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赫爾納貿(mào)易（大連）有限公司
主營產(chǎn)品： PPSU接頭,PSI5接口,進口插桶泵,車門關(guān)閉速度測試儀,jutec隔熱服,hptech燃油泵,3M摩擦墊片 |
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inficon熱電離真空計 ATM 至超高真空雙規(guī) BPG552
2024-3-19 閱讀(468)
inficon熱電離真空計BPG552技術(shù)特點：
對于需要測量范圍從 UHV (5 x10 -10 ) 到 ATM (1000 mbar) 的應用，Trigon™ 系列包括雙技術(shù) BPG552 儀表。BPG552 由 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和經(jīng)典、堅固且可靠的 Pirani 傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲提供的精度、可重復性和使用壽命。
inficon熱電離真空計BPG552優(yōu)點
ü 雙量規(guī)（2 個傳感元件）可實現(xiàn)寬測量范圍、降低成本并節(jié)省空間
ü Bayard-Alpert 系統(tǒng)的 2 根燈絲
ü 皮拉尼聯(lián)鎖保護以避免燈絲過早燒毀
ü 自動高真空皮拉尼調(diào)節(jié)減少了操作員干預
ü 電隔離電子器件以避免雜散電流
ü 滑動排放模式可避免切換排放流時壓力跳躍和凍結(jié)
ü 由于可拆卸校準數(shù)據(jù)芯片，可烘烤性更長
ü 設定點繼電器
ü 明亮、大尺寸 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面
ü 模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT®
ü 可與 VGC50x 控制器系列結(jié)合使用
ü 向后兼容 BPG402
ü RoHS 合規(guī)性
inficon熱電離真空計BPG552典型應用
· 半導體工藝中的壓力測量
· 工業(yè)涂料
· 低至真空范圍系統(tǒng)的一般真空測量和控制
inficon熱電離真空計BPG552規(guī)格
測量范圍（空氣、O 2、CO、N 2） 5×10 -10 … 1000 毫巴
準確性
1×10 -8 … 1×10 -2毫巴 ±15 讀數(shù)
1 x 10 -2毫巴 … 1000 毫巴 讀數(shù)的±30%
重復性：讀數(shù)的 5%，10 -8 … 10 -2 mbar（穩(wěn)定 10 分鐘后）
暴露于真空的材料 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、Ni、鎢
inficon熱電離真空計BPG552備件零件號 描述
354-420 BPG552 備用傳感器頭，KF25
354-421 BPG552 備用傳感器頭，CF40
