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滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD

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產(chǎn)品型號(hào)OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL

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更新時(shí)間：2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù)：161次

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OTF-1200X-1I-4CV-PE-SL是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源，80mm 0D1800mm L的滑動(dòng)式雙溫區(qū)管式爐，4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組，可用于生長納米或石墨烯材料。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)：

•射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

•滑軌式可快速加熱和快速冷卻;

•兩個(gè)加熱區(qū)，溫度梯度可達(dá) 200°c;

•可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、Zn0納米管或納米線及單層石墨烯等。

加熱爐參數(shù)：

•溫度：1200°C（<30min），連續(xù)工作溫度：1100℃；

•兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)；

•輸入功率：208-240V，單相，功率：3KW；

•高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗；

•爐體開啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管。