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帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD

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產(chǎn)品型號(hào)OTF-1200X-50Ⅱ4CV-PE-MSL

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更新時(shí)間：2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù)：148次

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OTF-1200X-50-1I-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PECVD管式爐系統(tǒng)，組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動(dòng)速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐，預(yù)熱爐（作用為使固體原料蒸發(fā)）和德國(guó)進(jìn)口的無(wú)油泵。此款PECVD對(duì)于生長(zhǎng)納米線或用CVD方法來(lái)制作各種薄膜是一款新的探索工具。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)：

•與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫對(duì)薄膜的損壞；

•可通過(guò)爐體滑動(dòng)來(lái)達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果；

•爐體有兩個(gè)溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個(gè)溫區(qū)溫差為400℃；

•帶有預(yù)熱爐，氣體可通過(guò)此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

加熱爐參數(shù)：

•連續(xù)工作溫度為1100℃

•兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；兩個(gè)溫區(qū)溫差為：400℃

•內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

•工作電源：208-240V AC單相，功率：4KW

電動(dòng)滑軌：