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超純水處理系統(tǒng)在百級(jí)無(wú)塵室設(shè)計(jì)案例

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超純水處理系統(tǒng)在百級(jí)無(wú)塵室設(shè)計(jì)案例項(xiàng)目背景：該超純水處理系統(tǒng)應(yīng)用于百級(jí)無(wú)塵室內(nèi)中，該項(xiàng)目對(duì)超純水處理要求高，原水水質(zhì)為企業(yè)自來水要求，出水要求要達(dá)到百級(jí)芯片清洗水

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超純水處理系統(tǒng)在百級(jí)無(wú)塵室設(shè)計(jì)案例

項(xiàng)目背景：該超純水處理系統(tǒng)應(yīng)用于百級(jí)無(wú)塵室內(nèi)中，該項(xiàng)目對(duì)超純水處理要求高，原水水質(zhì)為企業(yè)自來水要求，出水要求要達(dá)到百級(jí)芯片清洗水。進(jìn)水經(jīng)過預(yù)處理工藝，要進(jìn)入二級(jí)反滲透膜工藝，對(duì)水質(zhì)進(jìn)行除鹽過濾。同時(shí)，要進(jìn)行EDI深度除鹽處理設(shè)計(jì)，在末端再經(jīng)過TOC脫除器脫除有機(jī)物以及拋光混床進(jìn)一步精處理，最終經(jīng)過超濾膜過濾后，出水水質(zhì)就可以滿足用水點(diǎn)的水質(zhì)要求。

項(xiàng)目工藝：

半導(dǎo)體超純水案例　　