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影響蝕刻速率因素
蝕刻液中的三價(jià)鐵的濃度和蝕刻液的溫度有很大的關(guān)聯(lián)。
蝕刻液溫度越高,蝕刻速度也就越快,溫度的選擇應(yīng)以不損壞抗蝕層為原則。
三氯化鐵里面的三價(jià)鐵的濃度對(duì)蝕刻數(shù)率有很大的影響,蝕刻液中的三價(jià)鐵濃度逐漸增加,對(duì)銅的蝕刻速率相應(yīng)加快,當(dāng)所含三價(jià)鐵超過其一濃度時(shí),由于溶液粘度增加,蝕刻速率反有所降低。
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