流量計(jì)氧氣氮?dú)饪諝饧淄闅鍤鈿錃饬髁靠刂破?/strong>
一、概述
具有測(cè)量微小、小流量的優(yōu)勢(shì)的MEMS( Microelectromechanical systems)氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器,主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門等氣體的檢測(cè)和控制。
流量計(jì)氧氣氮?dú)饪諝饧淄闅鍤鈿錃饬髁靠刂破?/strong>能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無(wú)可動(dòng)部件,量程比寬,響應(yīng)時(shí)間較快,測(cè)量精度高,無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償。
二、技術(shù)參數(shù)
1、 測(cè)量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)
2、 流量范圍: DN3-3 30-300ml/min
DN3-4 250-2500ml/min
DN3-6 600-6000ml/min
DN3-8 1200-12000ml/min
注:(a)以上流量的測(cè)量介質(zhì)為空氣而言;
(b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃,101.325kPa。
(c)每個(gè)口徑量程范圍均可擴(kuò)大
(d)特殊需要可廠家單獨(dú)標(biāo)定
3、 zui大允許誤差:±1.5%FS
4、 工作溫度范圍:0-55℃;
5、 工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa
6、 供電電源:24VDC
7、 輸出信號(hào):4-20mA,RS485通訊;
8、 環(huán)境溫度:0-55℃;
9、 顯示位數(shù):瞬時(shí)流量為三位,累積流量10位。
精度等級(jí)高是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級(jí)換代。
安裝與接線
1、 安裝注意事項(xiàng)
安裝時(shí)必須注意場(chǎng)合,不能安裝于管路有雜質(zhì)的地方;
安裝時(shí)應(yīng)使流量計(jì)上的流向標(biāo)志所示方向與流體流動(dòng)方向*;
2、 上游管道應(yīng)有10D(D為管道內(nèi)徑)的直管段,下游應(yīng)有5D的后直管;
3、 儀表安裝處的管道內(nèi)應(yīng)光滑清潔,無(wú)突出,流量調(diào)節(jié)閥應(yīng)安裝在流量計(jì)的下游;
4、 儀表水平安裝,安裝使用中嚴(yán)防漏氣;