微傾臺架的zui大傾斜角度±30′; 微傾臺架傾斜角度分辨率6″; 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)偏差激光部分< 1/400000; 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)偏差光學(xué)部分< 1/200000; 光學(xué)系統(tǒng)分辨力3μm; 二維光電數(shù)據(jù)采集器1、2的光柵尺精度±3μm二維光電數(shù)據(jù)采集器1的攝像頭分辨率640×480; 二維光電數(shù)據(jù)采集器2攝像頭的分辨率2048×1536;儀器工作溫度20±5℃; 儀器工作濕度范圍< 70 %RH; 電源AC220±10%(50Hz) V;
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