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閱讀:413發(fā)布時(shí)間:2013-4-10
旋渦氣泵使用在真空鍍膜的趨勢所在
當(dāng)今鍍膜行業(yè)應(yīng)用的制作 法子 首要有兩種,一種是化學(xué)氣相沉積,也就是化學(xué)鍍膜(CVD),一種是物理氣相沉積,也就是真空鍍膜(PVD)。
化學(xué)鍍膜是把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室,在襯底表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的歷程。在化學(xué)鍍膜的歷程中,容易產(chǎn)生 溶液污染,如果鍍件表層雜質(zhì)多,鍍出來的效果 不好。
化學(xué)鍍膜需要 的反應(yīng)溫度很高,一般要把持在1000℃左右,但很多基體材料 是無法經(jīng)受如此高溫,即使是硬質(zhì)合金,雖然能經(jīng)受高溫,但在化學(xué)鍍膜制作 的環(huán)境下由于高溫也會(huì)造成晶粒粗大,引起脆性相,性能變壞。如果在硬質(zhì)合金刀具上蒸鍍Tin,基體擴(kuò)散出來的碳會(huì)與溶液產(chǎn)生反應(yīng)而形成脫碳層,該層韌性差,抗彎強(qiáng)度低,造成刀具應(yīng)用壽命縮短。
匯成真空科技研發(fā)的真空鍍膜機(jī)很好的解決了化學(xué)鍍膜產(chǎn)生 的一系列問題。真空鍍膜是在真空條件下,采納低電壓、大電流的電弧放電技巧,利用 氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì) 與氣體都產(chǎn)生電離,利用 電場的加速作用,使被蒸發(fā)物質(zhì) 及其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上。
所有的鍍層材料 都是在真空的環(huán)境下通過等離子體沉積在工件表面,解決了化學(xué)鍍膜中的溶液污染問題,不會(huì)產(chǎn)生 有毒或有污染的物質(zhì) ,鍍出來的膜層硬度更高,耐磨性和耐腐化性好,性能更穩(wěn)固。真空鍍膜工藝處理 的溫度可以把持在150~500℃以下,實(shí)用于多種基體材料 ,可制備多姿多彩的膜層,鍍制硬質(zhì)合金刀具可使其壽命進(jìn)步 2~10倍。
由此可見,真空鍍膜是鍍膜行業(yè)發(fā)展的必定趨勢,其利用已經(jīng)引起了世界各國制作業(yè)的高度器重,對(duì)環(huán)境無污染,符合現(xiàn)代綠色制作的發(fā)展方向,從二十世紀(jì)50年代起頭,化學(xué)鍍膜就逐步被真空鍍膜代替。
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