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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


石墨烯生長(zhǎng)爐PECVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1200-S60LC-H2

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間:2022-09-01 19:27:06瀏覽次數(shù):349次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹:KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機(jī)是由KJ-T1200開(kāi)啟式滑軌管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng)、等離子電源系統(tǒng)組成

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:
 KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機(jī)是由KJ-T1200開(kāi)啟式滑軌管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng)、等離子電源系統(tǒng)組成??蛇m用于石墨烯生長(zhǎng)等。

主要功能和特點(diǎn):
1、PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等;
2、真空系統(tǒng)由旋片真空泵和進(jìn)口數(shù)顯真空計(jì)組成,真空可達(dá)10Pa;
3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì),流量顯示儀等組成,實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測(cè)量和控制;觸屏操作,操作簡(jiǎn)單方便。
4、采用KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;管路采用世界卡套連接,不漏氣;

設(shè)備主要技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱石墨烯生長(zhǎng)爐PECVD設(shè)備(CE認(rèn)證)
開(kāi)啟式滑軌管式爐部分
產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1200-S60LC-H2
爐管尺寸Φ60mmX1600mm
加熱區(qū)300mm
工作溫度1100℃
溫度1200℃
溫控方式K型熱電偶
控制方式溫度控制系統(tǒng)采用觸屏操作,人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制 30 段升降溫程序;
控溫精度±1℃
溫控保護(hù)具有超溫和斷偶保護(hù)功能
升溫速率0-20ºC/min  ,建議10ºC/min
加熱元件含鉬電阻絲
工作電壓AC 220V 單相 50HZ 
加熱功率3KW
爐膛材料氧化鋁多晶纖維
密封系統(tǒng)該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好。
爐體結(jié)構(gòu)滑軌結(jié)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)快速降溫
爐  管石英爐管
  
                     真空系統(tǒng)部分
名稱真空系統(tǒng)
主要參數(shù)
  1. 采用旋片真空泵和進(jìn)口數(shù)顯真空計(jì)組成,真空度可達(dá)10Pa
  2. KF25快接,不銹鋼波紋管,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連;
  3. 進(jìn)口數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為5×10-5-1500mbar,測(cè)量精度可達(dá)0.1mbar,測(cè)量不同氣體種類不需要系數(shù)轉(zhuǎn)換
 
氣路系統(tǒng)部分
名稱四路質(zhì)量流量計(jì)
主要參數(shù)四通道精密質(zhì)量流量計(jì):觸屏控制,數(shù)字顯示。流量范圍流量范圍:
1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可調(diào)
2.一個(gè)混氣罐
3.4個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動(dòng)控制4種氣體;
4.進(jìn)出氣口:4進(jìn)1出
流量控制:手動(dòng)旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié)
連接方式:雙卡套連接
等離子電源部分
名稱500W等離子電源
功率范圍0-500W(連續(xù)可調(diào))
工作頻率13.56MHZ+0.005%
工作模式連續(xù)輸出
功率穩(wěn)定度≤2W
反射功率70W
電源保護(hù)設(shè)置DC過(guò)流保護(hù),功放過(guò)溫保護(hù),反射功率保護(hù)
供電電壓/頻率單相交流(187V-253V)50-60HZ
冷卻方式風(fēng)冷
整機(jī)重量13.5KG
隨機(jī)贈(zèng)送石英管1支、坩堝鉤、爐塞、密封圈、水冷機(jī)、硅膠管、內(nèi)六角扳手、說(shuō)明書(shū)、保修卡等
售后服務(wù)整機(jī)質(zhì)保一年,終身保修(加熱元件、密封圈等隨機(jī)贈(zèng)送配件不屬于質(zhì)保范圍)
 

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 


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