SurPhase系列是整合了光源、物鏡以及掃描臺的整體式3D表面測量儀,基本指標與MicroPhase類似。其中SurPhase-HS是高速測量設(shè)備,測量時間<2.5秒。標配掃描臺為手動75mm x 50mm(X-Y)尺寸,其他尺寸或自動掃描臺可訂制。
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