潔凈間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room)、無塵室,是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈廠房建筑方式可分為土建結構和裝配式兩種,其中普遍采用裝配式。
潔凈室的分類
1、亂流式(Turbulent Flow)
空氣由空調箱經(jīng)風管與潔凈室末端高效過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級:1,000-100,000級。
2、層流式(Laminar)
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率99%的高效過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為 1~100級。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁的回風系統(tǒng)回風,塵埃隨風向排出室外。
(2)垂直層流式:房間天花板以高效過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高的潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。
3、復合式(Mixed Type)
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈的空氣。