D7型λ/1000超高精度激光干涉儀，設(shè)計(jì)緊湊、用戶界面友好，0.6nm的測量精度。非常好地測量高精密光學(xué)系統(tǒng)、復(fù)雜的表面形狀、大尺寸非球面偏差；揭示起源于制造技術(shù)的面形特征和缺陷。這對于建造精密的衛(wèi)星相機(jī)、高分辨望遠(yuǎn)鏡、強(qiáng)大的微芯片，乃至超快計(jì)算機(jī)都是的重要手段。
主要特點(diǎn)：
D7型激光干涉儀提供0.6nm的測試準(zhǔn)確度和的重復(fù)性(世界紀(jì)錄)
RMS重復(fù)性：< 0.06 nm (λ/10500)
檢測球面、平面、非球面及自由形體
測量光學(xué)系統(tǒng)的透射波陣面
曲率半徑測量
數(shù)據(jù)獲取：相移干涉測量法(PSI)
尺寸：490mm x 300mm x 260mm
D7型激光干涉儀：緊湊、可靠、使用方便
測試過程簡便，只需三個步驟：
1. 把待測的光學(xué)系統(tǒng)或部件放在支架上
2. 用軟件界面準(zhǔn)直調(diào)整測試部件
3. 調(diào)整干涉條紋并按動測量按鈕即可進(jìn)行測量
優(yōu)點(diǎn)：
| 優(yōu)點(diǎn) | 好處 |
| 理想?yún)⒖迹河捎诓捎梦锢韰⒖?/span>，因而沒有傳輸誤差 | 1. 省時：因?yàn)闊o需改變大量參考 2. 節(jié)省成本：因?yàn)闊o需購買昂貴的參考裝置 |
| 比標(biāo)準(zhǔn)性能傳輸?shù)姆扑髑蛎娓缮鎯x有超過100倍更高的精度 | 節(jié)省時間和成本：因?yàn)椴恍枰虚g儀器和附加的方法來提高精度 |
| D7型激光干涉儀比其它激光干涉儀可檢驗(yàn)更多的表面特征 | 由于在安裝和光學(xué)系統(tǒng)上市之前更好地揭示了制造誤差，從而節(jié)省了成本 |
| 穩(wěn)定性和堅(jiān)固性 | 1. 省時：因?yàn)榈闹貜?fù)性提供準(zhǔn)確的測試數(shù)據(jù)，無需反復(fù)地證明測試結(jié)果 2. 節(jié)省成本：因?yàn)?font face="Arial">D7型激光干涉儀不需要特殊的(工作)環(huán)境條件 |
| 應(yīng)用范圍寬 | 節(jié)省時間和成本：由于緊湊和簡單的設(shè)置，可在實(shí)驗(yàn)室或工廠（現(xiàn)場）垂直和水平方向使用D7型激光干涉儀 |
| 沒有可追溯的誤差 | 由于在測量非球面和自由形體時簡化的設(shè)置，從而節(jié)省時間和成本 |
主要技術(shù)參數(shù)：
| 性能 | |
| 精度 | ≤0.6 nm (λ/1000) |
| RMS波前重復(fù)性 | ≤0.23 nm (λ/2800) |
| 數(shù)據(jù)采集時間 | 10ms |
| 光學(xué) | |
| 系統(tǒng)數(shù)值孔徑(NA) | 0.6 (F數(shù) 0.83) |
| 系統(tǒng)成像數(shù)值孔徑(NA) | 0.55 (F數(shù) 0.91) |
| 成像變焦系統(tǒng) | 軟件界面控制4 x光學(xué)變焦 |
| 成像 | 具有偽影去除選項(xiàng)的相干（無散射玻璃） |
| CCD相機(jī) | 0.5k × 0.5k (可選：1k x 1k, 2k x 2k or 5k x 5k，也可按照客戶要求) |
| 高分辨率 | λ/8000 |
| 像素深度（數(shù)字化） | 12位 |
| 曝光時間 | 最少40μs |
| 傳感器像素分辨 | 500×500，直徑≥50mm |
| 聚焦控制 | 電動及軟件界面控制 |
| 光學(xué)聚焦范圍 | ±2米 |
| 激光器 | |
| 激光類型和波長 | 穩(wěn)定的He-Ne激光器，波長：632.8nm |
| 激光功率 | 2mW（更高功率可根據(jù)用戶的要求提供） |
| 偏振 | 可調(diào)節(jié)測試表面性質(zhì) |
| 相干 | ≥100米 |
| 系統(tǒng) | |
| 數(shù)據(jù)采集 | 相移干涉測量（PSI）或靜態(tài) |
| PSI方法 | PZT電子相移 |
| 準(zhǔn)直范圍 | ±2.5度 |
| 準(zhǔn)直類型 | 雙點(diǎn) |
| 準(zhǔn)直十字線 | 計(jì)算機(jī)產(chǎn)生 |
*接受定制解決方案
D7型激光干涉儀的應(yīng)用：
I. 波前質(zhì)量
投影鏡頭
望遠(yuǎn)鏡
顯微鏡
光學(xué)鏡頭
II.表面光學(xué)質(zhì)量
球面
平面
角隅稜鏡
非球面
自由形體
參考光學(xué)系統(tǒng)
III.曲率半徑
把長距離傳感器與D7激光干涉儀提供的聚焦精度相結(jié)合，可獲得ppm RoC精度
IV. 成像質(zhì)量
在部署之前驗(yàn)證你的光學(xué)系統(tǒng)的分辨能力
