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半自動(dòng)勻膠顯影機(jī)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2024/7/20 7:30:03
訪問次數(shù)89

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公司介紹主營產(chǎn)品

寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司(ALLSEMI)，簡稱ASI，位于文化底蘊(yùn)豐厚、風(fēng)景秀麗、交通便利的寧波余姚市，在北京、武漢和廈門設(shè)有銷售服務(wù)分支機(jī)構(gòu)。公司匯聚了一批高素質(zhì)專業(yè)人才，致力于民族半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的振興，專注于新型電子器件生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)、設(shè)計(jì)、銷售及售后服務(wù)。全芯公司與中國臺(tái)灣、韓國多家公司合作，可提供整線設(shè)備解決方案和電子科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)咨詢服務(wù)。公司通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證，秉承“專業(yè)、誠信、創(chuàng)新、共贏”的經(jīng)營理念廣泛服務(wù)于化合物半導(dǎo)體、LED、SAW、 OLED、光通訊、MEMS、*封裝等新型電子器件制造領(lǐng)域，配備了快速響應(yīng)的銷售和技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)。寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司將以*可靠的產(chǎn)品，優(yōu)質(zhì)的服務(wù)贏得客戶信賴，成為一家具有國際影響力的半導(dǎo)體裝備及工藝解決方案提供商。

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手動(dòng)上、下片

半自動(dòng)勻膠顯影機(jī) 產(chǎn)品信息

手動(dòng)上、下片，自動(dòng)對(duì)位和自動(dòng)滴膠、顯影，晶圓背部清洗（BSR），邊緣清洗（EBR）
CUP腔體自動(dòng)清洗，CUP方便拆卸，限度減少光刻膠及顯影液堆積
膠嘴具有保濕功能，防止由于勻膠機(jī)間歇生產(chǎn)而造成光刻膠干化 晶片尺寸
2-12英寸，圓形及方形基片，光刻膠旋涂及顯影工藝

主要技術(shù)參數(shù)
1、晶片尺寸： 2-12寸
2、上下料方式：手動(dòng)取送片
3、離心機(jī)轉(zhuǎn)速
額定轉(zhuǎn)速： 6000 rpm
最小調(diào)整量： 1rpm
轉(zhuǎn)速精度： ±2rpm（50 rpm～6000 rpm）
4、吸盤(Chuck)
晶片固定方式：真空吸附
吸盤真空檢測：數(shù)顯真空壓力傳感器
材質(zhì)： PPS、陶瓷（可根據(jù)客戶提供材質(zhì)制作）
5、收集杯材質(zhì)(CUP)： PP，氣液分離排放
6、供液方式：自動(dòng)供膠、自動(dòng)顯影
7、光刻膠黏度： MAX. 10000CP
8、光刻膠種類： MAX. 3種
9、光刻膠保濕功能：丙酮藥液保濕盒
10、光刻膠清洗功能：晶圓背部清洗；晶圓邊緣清洗
11、顯影液種類： MAX. 2種

12、光刻膠/顯影液過濾：有，0.1um/0.2um可選

應(yīng)用行業(yè)
廣泛服務(wù)于MEMS、OLED、光通信、SAW、封裝、科研等領(lǐng)域

關(guān)鍵詞：勻膠機(jī) 離心機(jī) 真空壓力傳感器