快速,精確,準確地測量小樣本和大樣本
315毫米x 315毫米大掃描區(qū)域
用戶友好的概念
復雜的分析和自動化軟件
CT 300是一種非接觸輪廓儀,具有315 mm的x,y運動系統(tǒng)。它可以處理12英寸的晶圓或其他大型基板和零件。使用彩色白光傳感器和高達20 kHz的數(shù)據(jù)采集速率,可以將檢查時間減至最少。共聚焦顯微鏡和3D白光干涉儀傳感器在低至0.1 nm的z方向上提供了的分辨率。利用多傳感器技術,可以同時安裝多個傳感器頭,包括用于測量晶圓厚度的紅外干涉儀。
典型的應用是印刷過程的分析和質量控制,例如PV太陽能電池,基板材料的進料檢查,各種基板上的厚膜測量,漿料倉庫,環(huán)氧膜,點或其他印刷和印刷的體積測量。分配的功能。 高輪廓物體的幾何形狀和位置測量(如焊料凸塊,微透鏡和MEMS器件)以及平面度和共面性分析是其他受歡迎的應用。由于CT 300在整個行程中保持高精度,因此可以快速而精確地檢查較大的零件,例如晶片,墊片或玻璃鏡片。
系統(tǒng)控制器:包括運動控制,傳感器控制器(2 kHz),電源,工作站的USB接口
工作站電腦:查詢當前規(guī)格,22英寸寬屏顯示器
連接:以太網(wǎng),DVD驅動器,USB(正面和背面),并行端口,鍵盤,鼠標,DVI和模擬視頻輸出
電源要求:100-240V AC,50-60 Hz,2安培(240 V),5安培(100 V)
工作溫度:20°-30°C(68–86 F)
測量表面尺寸:400 x 400 [mm](16 x 16 [in])
線性編碼器分辨率:0.05μm(2μin)
橫向分辨率:min.1微米
X和Y的行程限制(電動):315 x 315 [mm](12 x 12 [in])
Z的行程限制(手動):50 mm(2in)(可調節(jié)至100 mm)
機動化的Z軸行程:100 mm,分辨率0.1 µm
平臺上的負載:max.10 kg
可用的傳感器:
共焦白光傳感器
共焦激光傳感器
激光三角測量傳感器
干涉儀(白光和紅外)
尺寸(長X寬X高):900 x 1040 x 1600 [mm]
站立式工作站(35 x 41 x 63 [in])
重量:400 kg (880 lbs)