儀器功能特點:
l 同時分析(5-12)個組氣體濃度;
l 采用美國進口VICI色譜檢測器;
l 內置排風扇,數(shù)據(jù)測量穩(wěn)定、精度高、響應時間短、可達到ppb級;
l 內部氣路、色譜柱、閥件等均可采用鈍化處理技術,耐腐蝕、吸附性??;
l 10.1英寸高分辨率觸控彩色液晶屏,顯示信息清晰;
l 觸摸屏觸控操作簡單,可外接鼠標、鍵盤。
技術參數(shù)
技術參數(shù) | |||
精 度 | ±0.01℃ | 基線噪聲 | ≤0.1mv |
輸出 | 1.(5-12)路(4-20)mA電流輸出接口; 2.1路網絡通訊、1路232通訊接口(可擴展)。 | 外形尺寸 | 儀表采用標準5U機箱, 482mm(長)*432mm(寬)*222mm(高) |
(PDD檢測器)檢測限 | |||||||
雜質 | H2 | He | O2 | N2 | Ar | Ne | CO |
ppb | 5 | 5 | 10 | 10 | 10 | 10 | 25 |
雜質 | CO2 | CH4 | CF4 | C2F6 | SO2F2 | C3F8 | |
ppb | 5 | 5 | 10 | 20 | 20 | 20 |