電解拋光原理

電解拋光（Electro-polishing，簡(jiǎn)稱EP）的原理是將工件接于陽(yáng)極并置于電解液中通直流電，利用電解作用將工件最表層之金屬及雜質(zhì)溶解移除，使工件表面平坦滑順、潔凈無(wú)瑕、光澤明亮，更可提升表面的抗腐蝕性，可說(shuō)是的表面亮化方法。

半導(dǎo)體制程中，氣體供應(yīng)之零組件相當(dāng)要求潔凈性、表面平滑性及抗腐蝕性等，目前適用于半導(dǎo)體組件的表面處理方法有數(shù)種，其中電解拋光法因具有以下特性，已成為半導(dǎo)體制程中重要的閥件、管件及其零組件等流路內(nèi)部之表面處理的主要方法。

電解拋光法之特性：

(1)　鈍化層

不銹鋼材料在進(jìn)行電解拋光處理時(shí)，藉由電化學(xué)的原理，適當(dāng)?shù)卣{(diào)整電壓、電流、酸液成分、溫度及拋光時(shí)間，便可控制加工表面的氧化鉻薄膜厚度，使不銹鋼管達(dá)到的抗蝕性。

(2)　高潔凈度

電解拋光之制程系將工件最表層移去，因此表面之雜質(zhì)層、氧化層、殘留應(yīng)力層等，皆會(huì)被移除，加工完成后可獲得非常平坦的表面，沒(méi)有可以藏污納垢的凹陷，因此可使工件在使用時(shí)，表面達(dá)到高潔凈度。

(3)　適合薄型工件及特殊形狀加工

電解拋光加工過(guò)程中，工件是泡在電解液中，所以不受任何應(yīng)力，不會(huì)有表面加工變質(zhì)層及造成表面殘留應(yīng)力，但可溶解除去前制程中，零件表面因機(jī)械加工而產(chǎn)生的應(yīng)力層。因此，電解拋光非常適合處理薄型工件及特殊形狀工件，且對(duì)于小型工件，可大量一次進(jìn)行而減少加工時(shí)間。

1、技術(shù)含量高:

    核心部件采用國(guó)際技術(shù)產(chǎn)品,控制電路采用專有技術(shù),穩(wěn)壓性能強(qiáng),提高了工作效率。

2、可靠性強(qiáng):

    保證設(shè)備安全運(yùn)行,減少故障發(fā)生,保護(hù)齊全,隔離及防腐措施合理

3、控制精度高:

    由于系統(tǒng)反應(yīng)速度快（微秒級(jí)），對(duì)于網(wǎng)電及負(fù)載變化具有的適應(yīng)性，輸出精度可優(yōu)于1%。開關(guān)電源的工作效率高、所以控制精度高，有利于提高產(chǎn)品質(zhì)量。

4、節(jié)電效果好:

    較可控硅整流器可節(jié)電10%-30%,對(duì)企業(yè)降低成本定會(huì)發(fā)揮重要作用。

5、靈活性強(qiáng)：

    輸出電壓、電流可調(diào)，限壓、限流可調(diào)，大大提高客戶使用靈活性。

6、保護(hù)功能齊全：

    軟啟動(dòng)保護(hù)，輸入交流欠壓、過(guò)壓保護(hù)，輸出過(guò)流、過(guò)熱保護(hù)功能。

7、輸出波形易于調(diào)制：

    由于工作頻率高，其輸出波形調(diào)整相對(duì)處理成本較低，可以較方便的按照用戶工藝要求改變輸出波形。這樣對(duì)于工作現(xiàn)場(chǎng)提高工效，改善加工產(chǎn)品質(zhì)量有較強(qiáng)作用。

8、壽命長(zhǎng)：

    水冷系列采用密封及水冷結(jié)構(gòu)，功率部件通過(guò)水冷卻，延長(zhǎng)了其使用壽命，可使用自然水或潔凈自然水冷卻；風(fēng)冷系列采用獨(dú)立隔離風(fēng)道從而確保其具有較高的防腐等級(jí)。

二、結(jié)構(gòu)及工藝特點(diǎn)

1、完善的風(fēng)道隔離技術(shù)

    在污染情況嚴(yán)重的運(yùn)行環(huán)境下，將電源的散熱部分與功率及控制部分實(shí)行風(fēng)道隔離是保證電源長(zhǎng)期可靠運(yùn)行的必要手段。我公司產(chǎn)品實(shí)行了的風(fēng)道隔離技術(shù)。其實(shí)，這一技術(shù)的關(guān)鍵是，在實(shí)行風(fēng)道隔離的前提下，為電源系統(tǒng)提供良好的散熱環(huán)境，這就需要選用合適的風(fēng)機(jī)、合適的散熱器、布置合理的風(fēng)道。我公司選用國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)250風(fēng)機(jī)，定制符合風(fēng)道設(shè)計(jì)的散熱器，散熱系統(tǒng)高效可靠。

2、的主功率器件水冷卻技術(shù)

    金屬材料內(nèi)置水道技術(shù)于2005年在我公司使用。該技術(shù)解決了IGBT等功率器件的水冷方式散熱難題。2006年，我公司又推出了水冷式變壓器。這兩項(xiàng)技術(shù)解決了全水冷開關(guān)電源的主要技術(shù)障礙。由于其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，重量輕，便于維修維護(hù)，一經(jīng)進(jìn)入市場(chǎng)，就受到用戶的歡迎，導(dǎo)致油浸水冷式開關(guān)電源基本退出市場(chǎng)。

3、高可靠性水道處理技術(shù)

    水冷電源在主要技術(shù)問(wèn)題解決后，水道的外部連接也是一個(gè)需要解決的重要技術(shù)問(wèn)題。其基本要求是連接通道耐壓耐溫能力強(qiáng)，彎曲易于實(shí)現(xiàn)且不能變形，抗老化能力強(qiáng)，連接可靠不漏水，絕緣能力強(qiáng)。我公司采用鋁塑管，很好的實(shí)現(xiàn)了這個(gè)目的。

4、的高頻噪聲處理電路

由于開關(guān)電源采用了高速的大功率開關(guān)器件，在這些開關(guān)器件開通和關(guān)斷的瞬間（5微秒以內(nèi)），其輸出波形存在尖銳而短暫的高頻噪聲（2微秒以內(nèi)）。這種高頻噪聲對(duì)接用設(shè)備的使用效果有的情況下會(huì)產(chǎn)生不利作用。消除高頻噪聲也是開關(guān)電源性能好壞的一個(gè)重要指標(biāo)。

5、合理的多水道冷卻技術(shù)

    在水道設(shè)計(jì)方面，不但要考慮到總體的水量大小，還要考慮到水流運(yùn)動(dòng)過(guò)程中水溫變化對(duì)局部冷卻器件的冷卻效果的影響，這樣就需要考慮用多水道方案解決冷卻效果不一致的問(wèn)題。隨之而來(lái)的是不同通道水阻不通帶來(lái)的水流不均衡問(wèn)題。我公司產(chǎn)品充分考慮到了水冷卻技術(shù)本身的各種具體問(wèn)題，實(shí)行了科學(xué)合理的多通道水冷卻系統(tǒng)。

三、設(shè)計(jì)特點(diǎn)

1、器件及材料選用科學(xué)合理

    主要器件如前所述，其他器件及材料選用我公司也執(zhí)行了一律選用國(guó)內(nèi)國(guó)際優(yōu)秀品牌的原則。小到操作開關(guān)器件，大到IGBT，我公司這些年都在國(guó)內(nèi)外進(jìn)行了長(zhǎng)期篩選，優(yōu)選出了與我公司建立長(zhǎng)期供求關(guān)系的優(yōu)質(zhì)供應(yīng)商。

2、按不同需求選用合適的拓?fù)潆娐沸问?/p>

    電源功能實(shí)現(xiàn)的基礎(chǔ)是選用合適的拓?fù)潆娐沸问?。許多電源制造企業(yè)對(duì)這一點(diǎn)注意不夠，因而生產(chǎn)的開關(guān)電源從基礎(chǔ)上就存在缺欠，導(dǎo)致其所生產(chǎn)的開關(guān)電源難以長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，更談不到滿足用戶的工藝要求。

3、安全余量有保證

七、我公司電源產(chǎn)品的特點(diǎn)：

    我公司開關(guān)電源長(zhǎng)期堅(jiān)持留有足夠設(shè)計(jì)余量，以保證電源在合理使用條件下，能夠始終在合理的工況狀態(tài)下運(yùn)行。根據(jù)不同情況，我公司電源主功率系統(tǒng)一般按110%到130%余量進(jìn)行設(shè)計(jì)。

   由于我公司電源具備以上特點(diǎn)，加之我公司基本實(shí)現(xiàn)了規(guī)范化、模塊化的管理體系，從而形成了我公司開關(guān)電源的優(yōu)勢(shì)：

1、控制有效，高度一致，適應(yīng)性好。

2、裝配規(guī)范，結(jié)構(gòu)緊湊，可靠性高。

3、跟隨迅速，波形穩(wěn)定，使用效果佳。

4、器件優(yōu)良，余量合理，使用壽命長(zhǎng)。

5、技術(shù)，穩(wěn)定高效，節(jié)能效果好。

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