英國(guó)Quorum/Emitech高真空蒸鍍儀K950X在使用碳棒蒸鍍時(shí)可給出連續(xù)的碳膜,并且使用渦輪分子泵時(shí)無(wú)污染。它可用于TEM和X-Ray分析中的覆膜,以及SEM中的導(dǎo)電涂層。
在厚度為2nm (20埃)或更厚時(shí)膜是連續(xù)的。通常的沉積形式是加熱碳或石墨棒。棒具有特定的形狀以達(dá)到電流密度,使得它具有足夠的溫度來(lái)引起蒸發(fā)?;谶@點(diǎn),出現(xiàn)了細(xì)小的、亮的、熱的碳顆粒。此系統(tǒng)需要用擴(kuò)散泵或渦輪分子泵達(dá)到1x10-4 mbar或更高的真空度
渦輪分子泵在K950X中作為標(biāo)準(zhǔn)配置,此泵作為機(jī)械真空泵的后級(jí)泵,真空為全自動(dòng)控制,真空度優(yōu)于1x10-5 mbar??蛇M(jìn)行預(yù)熱及除氣控制,同時(shí)用瞬時(shí)蒸發(fā)開關(guān)使脈沖蒸發(fā)在用戶控制下進(jìn)行。
標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)可進(jìn)行傾斜調(diào)節(jié),容易適應(yīng)各種樣品座。可選的樣品臺(tái)具特殊的凹槽,可放置標(biāo)準(zhǔn)的載玻片,這在“石棉分析”需要鍍碳層時(shí)尤為有利。
碳棒頭在儀器中作為標(biāo)準(zhǔn)件。這是一個(gè)“快速釋放頭”,使用戶在選擇金屬蒸發(fā)附件、碳絲及光闌清洗頭時(shí)可方便地更換。放氣系統(tǒng)具有互鎖裝置,避免樣品受到干擾。渦輪分子泵可安裝在任何軸上,并且可安全地“關(guān)閉”直接通大氣。
主要特點(diǎn)
(1)全自動(dòng)抽氣系統(tǒng)
(2) 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
(3) 菜單驅(qū)動(dòng)式“用戶”鍵盤輸入
(4) 快速釋放頭方便選擇不同的頭
(5) 約束的排氣控制
(6) 渦輪分子泵抽真空
優(yōu)點(diǎn)
(1) 容易操作
(2) 均勻的樣品涂層
(3) 方便多用戶操作
(4) 可用于蒸碳及蒸鍍金屬
(5) 在排氣過(guò)程中可防止樣品損壞
(6) 碳棒或碳絲蒸發(fā)
英國(guó)Quorum/Emitech高真空蒸鍍儀K950X技術(shù)參數(shù)
儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H (Overall height with Work Chamber 750mm) 重量:28Kg
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃165mm Dia x 125mm H
安全鐘罩:聚碳酸酯
鋁機(jī)座:110mm Dia x 115mm H
碳 源:直徑3.2mm碳棒
旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái):直徑為60 mm,傾斜0-90o
到電極距離為110mm 到 130mm
真空計(jì)范圍:ATM - 1x10-5 mbar
操作真空:1x10-2 to 1x10-5 mbar
安培計(jì):0-50 Amps
低電壓選擇:0-5V-15V-25V
除氣電流:0-25 Amps
渦輪分子泵:50L/Second
Services -Argon - Nominal 4psi. Rotary Backing Pump -Two Stage Vacuum Pump No. 2, 35L/Min complete with Vacuum Hose & Oil Mist Filter. 2m3/Hr
電源:230V 50Hz (包括泵電流8 安培);115V 60Hz(包括泵電流16 安培)
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目前我們的主要業(yè)務(wù)包括
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