搭載場(chǎng)發(fā)射電子光學(xué)系統(tǒng),將島津EPMA分析性能發(fā)揮到
從SEM觀察條件到1μA量級(jí),在各種束流條件下都擁有非常的空間分辨率的場(chǎng)發(fā)射電子光學(xué)系統(tǒng)。結(jié)合島津傳統(tǒng)的高性能X射線譜儀,將分析性能發(fā)揮至。
超高分辨率面分析
對(duì)碳膜上Sn球放大3萬(wàn)倍進(jìn)行面分析。即使是SE圖像(左側(cè))上直徑只有50nm左右的Sn顆粒,在X射線圖像(右側(cè))上也是清晰可見(jiàn)。
的空間分辨率
EPMA可達(dá)到的別的二次電子圖像分辨率3nm(加速電壓30kV)分析條件下的二次電子分辨率。
(加速電壓10kV時(shí)20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA)
二次電子圖像分辨率3nm
碳噴鍍金顆粒的觀察實(shí)例。實(shí)現(xiàn)分辨率
3nm(@30kV)。相對(duì)較高的束流也可將電子束壓
細(xì)聚焦,更加容易的獲得高分辨率的SEM圖像。
大束流超高靈敏度分析
實(shí)現(xiàn)3.0μA(加速電壓30kV)的束流。
全束流范圍無(wú)需更換物鏡光闌。
最多可同時(shí)搭載5通道高性能4英寸X射線譜儀
無(wú)人可及的52.5°X射線取出角。
4英寸羅蘭圓半徑兼顧高靈敏度與高分辨率。
最多可同時(shí)搭載5通道相同規(guī)格的X射線譜儀。
全部分析操作簡(jiǎn)單易懂
全部操作僅靠一個(gè)鼠標(biāo)就可進(jìn)行的可操作性。
追求「易懂」的人性化用戶界面。
搭載導(dǎo)航模式,自動(dòng)指引直至生成報(bào)告。
超高靈敏度面分析
使用1μA束流對(duì)不銹鋼進(jìn)行5000倍的面分析。精確地捕捉到了Cr含量輕微不同形成的不同的相(左側(cè)),同時(shí)也成功地將含量不足0.1%的Mn分布呈現(xiàn)在我們眼前(右側(cè))。