美國Tousimis AUTOSAMDRI-915B Series B全自動臨界點干燥儀
全自動臨界點干燥儀
臨界點干燥原理
之所以稱為臨界點干燥（又稱超臨界干燥），因為它存在狀態(tài)的連續(xù)性，即介質在液態(tài)和氣態(tài)之間無明顯的區(qū)別，分界面的表面應力降到零。這種現(xiàn)象具有特定的溫度和壓力，被稱為臨界點。零表面應力這種條件可用于干燥生物樣品或含水材料樣品，避免了表面應力對試樣的損壞。
我們在電子顯微鏡(掃描電鏡透射電鏡)的生物樣品或含水材料樣品制備時經常需要進行脫水處理（梯度脫水），但水的臨界點為+374℃及3212 psi，很不方便并且容易損壞試樣。通常也是非常方便的臨界點干燥介質為CO2，它的臨界點在+31℃及1072 psi。然而它不容易與水混合，因而必須用第三種介質，通常用乙醇或丙酮作為中間液體。這樣在把過渡液體，即CO2 從液體轉為氣體時，在臨界點無表面應力對樣品的破壞。
特點和優(yōu)點
? 防靜電設計，適合潔凈室材料制造應用；通過微處理控制器來實現(xiàn)全自動處理過程
? 所有內表面材質耐用于液態(tài)二氧化碳、超純乙醇和丙酮環(huán)境
? 可重復設定操作參數確保結果的可重復性
? LED指示，使每一個程序模式的操作一目了然；集成溫度控制系統(tǒng)
? 帶可視窗口，便于操作者觀察腔室內部狀態(tài)
? 0.08μm內部過濾系統(tǒng)輸送潔凈過濾后的液態(tài)CO2到腔室
? 預設靜態(tài)壓力控制模塊，自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性；內置圓盤裂片保證安全
? 的腔室填充塊可以改變成多種腔室內徑，使液態(tài)CO2的使用效率和處理時間達到化
? 每次運行可處理5 x 6"直徑的晶圓，也可一次處理或 5 x 4"、 5 x 3"、5 x 2"直徑的晶圓或者 5 x 10mm 方形裸片 (提供可以兼容HF的晶圓/方形裸片樣品架，方便運輸和處理晶圓和方形裸片)
? 高效冷卻系統(tǒng) 可以在3分鐘內把腔室從室溫冷卻到到接近0 °C，并在FILL和PURGE模式下自動保持溫度
? 內置SOTER™ 冷凝器，分離廢棄乙醇和二氧化碳，消除任何管路凍結或機體靜電，整個過程無噪聲
主要技術指標
? 工作腔室直徑：6.5" I.D.
? 壓力測量范圍：0-2000psi.
? 溫度測量范圍：-30°C to 60°C
? 操控方式：全自動按鍵操控
常規(guī)配置
? 柔性編織不銹鋼耐高壓管，用于輸送液態(tài)CO2
? 對于外部鋼瓶供應的液態(tài)CO2，采用雙T型過濾器進行顆粒過濾，截留率為99.5%以上
? 配備耐氟樣品架，可選不同腔室充填塊分別用于干燥直徑為6"、4"、3"、2"的晶圓支架和10mm的方形裸片支架，每個支架可最多容納5個晶圓或方形裸片；配3個腔室填充塊，使原腔室內徑可減小到6"、4"、3"、2"和 1.25”更小的腔室
? 備用腔室O型環(huán)密封圈，LED腔室燈和保險絲
注：美國Tousimis產品已有近50年的歷史，在中國客戶中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超臨界干燥儀中國區(qū)代理。Tousimis臨界點干燥儀產品分為非潔凈室版本和潔凈室版本兩大類，前者常用于電鏡制樣，后者多用于超凈間內的材料研究用途；
非潔凈室版本共有7款CPD：
1）Samdri®-PVT-3D常規(guī)臨界點干燥儀
2）Samdri®-795半自動臨界點干燥儀
3）Autosamdri®-815 Series A全自動臨界點干燥儀
4）Autosamdri®-815B Series A全自動臨界點干燥儀
5）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
6）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
7）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
潔凈室版本共有9款CPD：
1）Autosamdri®-815 Series B全自動臨界點干燥儀For Die & 1”Wafers
2）Autosamdri®-815B Series B全自動臨界點干燥儀For 4”Wafers
3）Automegasamdri®-915B, Series B全自動臨界點干燥儀For 6”Wafers
4）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動多用途臨界點干燥儀
5）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動多用途臨界點干燥儀
6）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏多用途全自動臨界點干燥儀
7）Autosamdri®-934觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀For 4”Wafers
8）Automegasamdri®-936觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀For 6”Wafers
9）Automegasamdri®-938觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀For 8”Wafers
美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結構的脆弱復雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導體晶圓（樣品尺寸8英寸，一次同時干燥5片）等材料類樣品的臨界點干燥。利用CO2臨界點狀態(tài)無液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實形貌的干燥樣品，是含水或其它液體的細胞組織等生物樣品、半導體等材料樣品干燥制樣的有效方法；具有操作簡便、控制精確、結果可重復等特點。其中，經典的SAMDRI®-PVT-3D和屢獲殊榮的Autosamdri®-931高級觸摸屏全自動CPD等型號尤其令人矚目。客戶可基于不同的應用選擇不同的型號。
