STM7測量顯微鏡用途
具有優(yōu)良的多用途性,能夠以亞微米精度實現(xiàn)對零部件和電氣組件的高性能三軸測量。無論待測樣品是大的還是小的,測量內(nèi)容是簡單的還是復(fù)雜的,測量人員是新手還是專家,奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求、為您量身打造的測量顯微鏡產(chǎn)品。
STM7測量顯微鏡觀察性能
多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗成就了優(yōu)異的觀察性能
STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被消除,以確保實現(xiàn)對微小細節(jié)的高精度測量。
明場圖像
暗場圖像
微分干涉圖像
偏光圖像
花崗巖精雕細琢而成的載物臺基座增強了測量的可靠性
STM7-LF FEM 分析
為了進一步保證測量精度,STM7系列采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性,使測量可到達亞微米水平,同時確保zui大程度地降低誤差。
作為高度測量的先鋒,繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量
主動反射,共聚焦自動聚焦系統(tǒng)光路
隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量,而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為shou家成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。
嚴格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
測量顯微鏡溯源系統(tǒng)
奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度。 并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務(wù)。
STM7在設(shè)計上非常重視易用性
提供適合您樣品尺寸的載物臺
常見問題
短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。
目前為止,大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費事費時,效率不高。
由于可測量的范圍窄,無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上,以實現(xiàn)一次性同時測量。
STM7解決方案
共有四種的正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。
采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動,并且可以在XY平面上自由穿梭。
300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。