橡膠密封熱式質量流量計4800 系列
經(jīng)驗證具有靈活性,能夠滿足各種質量流量測量需求。
布魯克斯儀器的橡膠密封質量流量計和控制器將工藝所需的準確性、可靠性和可重復性相結合,是一種能夠為您提供高精度性能和長期穩(wěn)定性并且經(jīng)濟有效的測量儀器。結果:使運營投資價值和回報。
關鍵應用
化學品與石化分析和試驗過程
實驗室和分析系統(tǒng)
生命科學實驗室
薄膜氣相沉積
熱處理、切割等其他熱過程
真空應用
選擇自身工藝需求的質量流量設備。
響應時間極快,適用于對時間要求嚴格的工藝
型號 4850 / 4860
熱式質量流量計和控制器的響應速度越快,工藝就越高效,生產(chǎn)效率越高。響應速度是 4800 系列的主要優(yōu)勢:該產(chǎn)品將基于 MEMS 的高級熱傳感器與的 PID 算法相結合以優(yōu)化控制閥的響應速度,因此使4800 系列控制器能夠根據(jù)設定值變化快速匹配實際的流量。本地操作界面 (LOI) 的選項能便于用戶對設備進行查看、控制和配置,無需遠程二次儀表。
特點
流量響應時間(完成時間)<0.75 s
創(chuàng)新型 MEMS 傳感器和的 PID 算法
尺寸小巧,不足常規(guī)熱式MFC的 一半:1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)
本地操作界面 (LOI) 選項可簡化設置和操作;免費提供 LabVIEW VI 下載以進行設備監(jiān)測和調零
通過 RS-232 實現(xiàn)數(shù)字化功能
優(yōu)勢
非常適用于各種常見的無腐蝕性氣體
響應速度快,可在切換工藝配方時確保各步驟的迅速完成
非常適用于各 OEM:尺寸小巧,可輕松集成至緊湊的設備空間內并有助于加快安裝
可選本地操作界面 (LOI) 是本地指示、設定值控制和設備配置的一站式解決方案;無需借助遠程二次儀表
擁有多種通信方式,可輕松滿足用戶需求
應用
熱處理、切割/焊接等其他熱式工藝
太陽能/薄膜物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
用于測量和控制反應物、校準和樣品氣體流量的分析設備
型號
規(guī)格
性能
等級
機械
診斷和顯示
電氣
附加設備
承諾