為苛刻的工藝過程快速和精確的溫度控制
熱電溫度控制系統(tǒng)LAUDA Semistat為等離子刻蝕工藝提供穩(wěn)定的可重復性的溫度控制。系統(tǒng)動態(tài)地控制靜電卡盤(ESC)的溫度并可以用在任何的刻蝕工藝中。LAUDA Semistat 熱電溫度控制系統(tǒng)設計的基礎是基于帕爾帖原理的溫度轉換, 這些原件可以實現(xiàn)快速且精確的溫度控制,滿足了當今元器件生產尺寸越來越小的要求。
與基于壓縮機的系統(tǒng)相比,熱點在線使用 Semistat 溫度控制系統(tǒng),降低能耗多達 90 %??砂惭b在使用地點的地下,非常節(jié)省空間,這樣大限度地減少無塵室的使用??焖俸途_地將過程溫度曲線控制在 ±0.1 K,從而提高晶圓間均質性。
重要功能:
- 低能耗,沒有壓縮機和制冷劑的系統(tǒng)
- 占地空間小,如果放置在地板下方則不占用Sub-Fab
- 極低的導熱液體填充量
技術參數(shù):