- 快速、準確
- 易于升級
- 光斑可視化
Smart SE, 智能型多功能橢偏儀
Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快,準確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學常數(shù)(n, k)以及薄膜結構特性(如粗糙度、光學梯度及各向異性等)。
Smart SE利用 DeltaPsi2 軟件平臺在幾分鐘內(nèi)對450-1000nm的光譜數(shù)據(jù)進行采集、建模分析。自動化雙軟件操作平臺,從簡化的工作流程到研發(fā),滿足不同層次和需求的客戶。
Smart SE是一款性價比的薄膜研發(fā)工具,以經(jīng)濟實惠的價格提供了研究級的性能。標配一套完整樣品可視化系統(tǒng),準確定位分析位置及區(qū)域,7個不同尺寸的微光斑可用于微區(qū)特征分析。幾秒鐘即可獲得完整的16位穆勒矩陣,用于復雜樣本的研究。
Smart SE配置靈活、具備多角度測量能力,可方便實現(xiàn)在線與離線配置切換。是一款針對單層和多層薄膜進行簡單、快速、準確表征和分析的工具, 可用于在線原為測試。Smart Se可以滿足各類應用領域,包括微電子,光伏,顯示,光學涂料,表面處理和有機化合物等。
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