泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI簡介
Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI干涉原理,可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸,并計算關(guān)鍵部位的面積和體積。主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)存儲器件,半導(dǎo)體器件,光學(xué)加工以及MEMS/MOEMS技術(shù)以及材料分析領(lǐng)域。
泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI技術(shù)參數(shù)
類型: CCI 干涉(相干相關(guān)干涉)
分辨率: 0.1 A
測量點數(shù): 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )
泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI主要特點
泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI技術(shù)參數(shù)
類型: CCI 干涉(相干相關(guān)干涉)
分辨率: 0.1 A
測量點數(shù): 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )
泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI主要特點
- 相干相關(guān)算法
- 0.01nm分辨率
- 10-20秒測量時間
- RMS重復(fù)性:0.03A