支持所有高分辨率顯微鏡的高性能P200L半自動探針平臺系統(tǒng)
美國Micromanipulator的P200L半自動探針平臺是專門為低電流、亞微米級定位應用而設計的。P200L半自動探針臺的標準配置是單點接地和集成熱冷管道。P200L半自動顯微鏡探針平臺具有高精度和高分辨率，并且采用的是絲桿-絲桿螺母和平臺驅動，其中平臺是由不銹鋼制成的并且?guī)в锌刹鹦肚靶ê透叻€(wěn)定性的顯微鏡支撐架，能夠支持所有高分辨率顯微鏡。
P200L半自動顯微鏡探針平臺系統(tǒng)的多功能控制器支持USB、GPIB、RS-232和TCP/IP通信（通過要求進行合適的選擇）。P200L半自動顯微鏡探針平臺系統(tǒng)的XYZ平臺可以通過操作器控制電機驅動或者電腦編程軟件控制，顯微鏡控制也可以選擇操作器控制電機驅動或者電腦編程軟件控制，不僅如此，該系統(tǒng)還可以通過腳本和目前流行的探針臺驅動程序進行兼容，這是因為廠家提供了一個帶有用戶GUI的索引腳本和一個Labview VI使用戶可以直接使用該系統(tǒng)。除此之外，電腦編程軟件控制的還可以通過可選的netProbe7軟件進行控制，netProbe7軟件具有廣泛的GUI，包括導航、晶圓圖和視頻應用程序以及用于GPIB連接的路由器應用程序（注意：netProbe7軟件需要單獨購買）。
P200L半自動探針臺可以配置干燥/EMF屏蔽/黑暗的環(huán)境滿足低電平或低溫探針的測試。P200L型號半自動探針臺的高效和堅固可靠性結合其相對低價格的優(yōu)勢，使其成為一種真正具有成本效益的200 mm半自動探針臺的理想選擇。
半自動探針平臺P200L的規(guī)格參數：
- 設備占地面積為22.75英寸 x 23.35英寸（57.5 x 59.3厘米）
- 探針臺的寬度、深度、高度為28.5英寸 x 26.75英寸 x 21.5英寸（72.5 x 68.0 x 55.0厘米），重量為250磅（115公斤）
- 臺面行程范圍：200 x 200 x 25 mm（X-Y-Z），支持測量高達200 mm直徑的晶圓/樣品
- 探針臺分辨率為0.5 um，精度為±5 um，重復性精度為正負2 um
- 不銹鋼/磁性臺面，4電機驅動/可編程的1 um分辨率螺旋絲桿驅動，±1 um的重復性精度
- 標準的0.7 um分辨率和15度范圍的手動Theta控制，可選電動驅動/可編程Theta驅動
- 手動顯微鏡行程范圍：100 x 100 x 50 mm（X-Y-Z），配備有32 mm的Z軸機械定位，可選電動驅動/可編程顯微鏡驅動
- 提供全面的配件和選型，包括：獨立的顯微鏡升降（可調節(jié)顯微鏡升降延遲）、集成干燥/黑暗/EMF屏蔽/低溫環(huán)境、探針卡座、光隔離模塊、熱夾具、手動/電動操作器
P200L半自動探針平臺的特點：
- 高穩(wěn)定性加工基座和顯微鏡支撐架支持所有高分辨率顯微鏡的小目標探測
- 不銹鋼平臺支持真空或磁性底座操作器
- 可拆卸的前楔提供了額外的空間放置操作器，并且是配置為局部干燥/黑暗環(huán)境時的進入口
- 可以通過操作器控制平臺和可選的顯微鏡的XYZ三軸驅動
- 人體工學、直觀、緊湊的設計提高了使用便利性，同時增加了穩(wěn)定性
- 緊湊的占地面積，能夠有效利用實驗室空間
