ULVAC VPC系列真空蒸發(fā)鍍膜機
ULVAC VPC-1100真空蒸發(fā)鍍膜機
此款設(shè)備在管架上緊密安裝了油擴散泵、油旋片真空泵、皮拉尼真空計、真空管、電力系統(tǒng)、壓力測量口等必要機器，并且配備了鐘罩升降裝置，是電阻加熱式高速型真空蒸發(fā)裝置。使用與保養(yǎng)檢修很簡單，用于2-8英寸基板尺寸的基礎(chǔ)研究開發(fā)實驗等工作。
產(chǎn)品特點
● 玻璃鐘罩,內(nèi)部易于查看,并且可操作性好。
● 可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
● 通過增加蒸發(fā)電源和電極,可以進行同時鍍膜及多層膜。
● 如變改EB式樣,可進行高熔點材料的鍍膜。
● 帶腳輪,易于移動。
● 使用調(diào)節(jié)器,可以確保設(shè)置的安全性。
● 極限真空度：4.0×10-4 Pa
● 基板尺寸50-200mm
● 真空腔體采用玻璃鐘罩 (直徑390mm ×350mm(H))
● 三點式電極結(jié)構(gòu)
● 主泵采用油擴散泵(水冷) 1100 L/sec
● 外觀尺寸：1235(W) × 836(L) × 2155(H) mm
