GE50A彈性密封數(shù)字型質(zhì)量流量控制器
多氣體，多量程，彈性體密封，5-50,000 sccm的質(zhì)量流量控制器
MKS G系列GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I / O。數(shù)字控制電子器件利用的MKS控制算法，可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點進行快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為500毫秒。數(shù)字校準可在校準氣體上產(chǎn)生設(shè)定點精度的1％。
· 流量從5到50,000 sccm
· Viton，Buna，氯丁橡膠或Kalrez的密封件和閥塞選項
· 多種數(shù)字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O
· 標準閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的0.1％
· 少于750毫秒的建立時間
技術(shù)指標
類型 | 質(zhì)量流量控制器 | 跨度溫度系數(shù) | <0.08％的讀數(shù)/°C |
控制范圍 | 滿量程的2％至100％ | 進氣壓力系數(shù) | <讀數(shù)的0.02％/ psi |
滿量程流量范圍 | 5-50,000 sccm | 典型建立時間 | <750毫秒，通常在滿量程的5％以上 |
密封材料 | Viton，Buna-N，氯丁橡膠或Kalrez | 熱身時間 | 30分鐘 |
模擬連接器 | 9引腳或15引腳D子級 | 工作溫度 | 10°C至50°C |
入口壓力 | 150磅/平方英寸 | 儲存濕度 | 0至95％相對濕度，無凝結(jié) |
正常工作壓力差 | 10至5000 sccm; 10至40 psid，10000至20000 sccm; 15至40 psid，30000至50000 sccm; 25至40 psid | 貯存溫度 | -20°至80°C |
耐壓 | 1000磅/平方英寸 | 外部泄漏完整性 | <1 x 10-09（scc / sec He） |
爆破壓力 | 1500磅/平方英寸 | 封閉閥的泄漏完整性 | 在大氣壓力為40 psig時高達10K閥門 |
典型精度 | 20至100％滿量程的設(shè)定點的±1％，2至20％滿量程的設(shè)定點的±0.2％ | 濕材料 | 316L SS VAR，316 SS，Elgiloy®，鎳 |
重復(fù)性 | 讀數(shù)的±0.3％ | 表面處理 | 平均Ra 16µ英寸 |
解析度 | 滿量程的0.1％ | 重量 | 3磅（1.4公斤） |
零溫度系數(shù) | <滿量程的0.05％/°C | 合規(guī) | CE認證 |
特征
多種數(shù)字和模擬接口選擇
GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I / O。數(shù)字控制電子器件采用的MKS控制算法，可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點提供快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為500毫秒。GE50A的模擬量和數(shù)字量I / O可以輕松替代1179A MFC的相同I / O類型。所有GE50A均包含Modbus作為可用的輔助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。
標準3英寸占地面積
GE50A利用MFC的標準3英寸占地面積，流量范圍為5sccm至50 slm，從而無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。
所有金屬潤濕的表面
GE50A的設(shè)計采用了最少的彈性體。只有一個外部彈性體密封件和彈性體閥芯。否則，所有濕潤的表面都是金屬。GE50A標配Viton®密封件以及Buna，Neoprene®，EPMD或Kalrez®的選件，允許該設(shè)備與需要以下替代品之一的氣體一起使用
設(shè)定值精度的百分比
附帶的數(shù)字校準可在全量程流量范圍的20％至100％的情況下使用N2校準氣體提供1％的設(shè)定點精度。設(shè)定點精度可實現(xiàn)精確的過程控制，相對于相對于滿量程的精度。當質(zhì)量流量為滿刻度的2至20％時，精度為滿刻度的±0.2％。
嵌入式用戶界面
嵌入式用戶界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶氣體的能力，從而減少了庫存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。
溫度傳感器
經(jīng)過驗證的熱傳感器設(shè)計可提供出色的零穩(wěn)定性。美國號5461913。
