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nanoTOF 3 飛行時間質(zhì)譜儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱上海德竹芯源科技有限公司
品牌
型號nanoTOF 3
所在地上海
廠商性質(zhì)其他
更新時間2023/10/10 10:49:18
訪問次數(shù)206

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公司介紹主營產(chǎn)品

上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導體工藝設(shè)備、檢測設(shè)備、封裝設(shè)備、測試設(shè)備。目前公司已成為國內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復旦大學、上海微系統(tǒng)所等半導體相關(guān)專業(yè)博士，擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的團隊。能夠出色地完成售前售中、售后的服務。目前公司已與眾多國際半導體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。

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無線電綜合測試儀

產(chǎn)品簡介在線詢價

nanoTOF 3 是新一代的 TOF-SIMS，擁有新外觀、緊湊設(shè)計，以及更強性能。

nanoTOF 3 飛行時間質(zhì)譜儀產(chǎn)品信息

關(guān)鍵技術(shù)

● 實現(xiàn)高精度測量的一次離子槍

● 三重離子束聚焦質(zhì)量分析器，復雜形貌樣品的高精度分析

● TOF-SIMS 自動多樣品測試

● 的離子束技術(shù)

● 通過平行成像 MS/MS 進行分子結(jié)構(gòu)分析

● 可靠的遠程訪問功能，即使在遠離設(shè)備的情況下也能進行“測量”和“診斷”

● 多樣化配置

實現(xiàn)高精度測量的一次離子槍

的離子束技術(shù)，實現(xiàn)高空間分辨率

● PHI nanoTOF3 能提供高質(zhì)量分辨和高空間分辨的 TOF-SIMS 分析：在高質(zhì)量分辨模式下，其空間分辨率優(yōu)于 500 nm；在高空間分辨模式下，其空間分辨模式優(yōu)于 50 nm。通過結(jié)合高強度離子源、高精度脈沖組件和高分辨率質(zhì)量分析器，可實現(xiàn)低噪聲、高靈敏度和高質(zhì)量分辨率的測量。

三重離子束聚焦質(zhì)量分析器(TRIFT)，復雜形貌樣品的高精度分析

三重離子束聚焦質(zhì)量分析器，適用于寬帶通能量、寬立體接受角度、各種形貌樣品分析

● 主離子束激發(fā)的二次離子會以不同角度和能量從樣品表面飛出，特別是對于有高度差異和形貌不規(guī)則的樣品，即使相同的二次離子在分析器中會存在飛行時間上的差異，因此導致質(zhì)量分辨率變差，并對譜峰形狀和背景產(chǎn)生影響。

● TRIFT 質(zhì)量分析器可同時對二次離子發(fā)射角度和能量進行校正，保證相同二次離子的飛行時間一致，所以 TRIFT 兼顧了高質(zhì)量分辨率和高檢測靈敏度優(yōu)勢，對于不平整樣品的成像可以減少陰影效應。

TOF-SIMS自動多樣品測試

Queue Editor實現(xiàn)多樣品自動測試

● 您可以輕松創(chuàng)建和編輯包括質(zhì)譜分析、成像分析和深度剖析在內(nèi)的所有測試方案。測試方案中除了測試條件外，還包括測試位置的信息。在創(chuàng)建測試序列后，程序可根據(jù)測試方案自動進行多樣品多點分析。

全自動樣品傳送系統(tǒng)

● PHI nanoTOF 3 配置了在 XPS 的Q系列上表現(xiàn)優(yōu)異的全自動樣品傳送系統(tǒng)：樣品尺寸可達 100mm × 100mm，而且分析室標配內(nèi)置樣品托停放裝置；結(jié)合分析序列編輯器（Queue Editor），可以實現(xiàn)對大量樣品的全自動連續(xù)測試。

離子束技術(shù)

采用新開發(fā)的脈沖氬離子槍，獲得的自動荷電雙束中和技術(shù)

● TOF-SIMS 測試的大部分樣品為絕緣樣品，而絕緣樣品表面通常有荷電效應。PHI nanoTOF 3 采用自動荷電雙束中和技術(shù)，通過同時發(fā)射低能量電子束和低能量氬離子束，可實現(xiàn)對任何類型和各種形貌的絕緣材料的真正自動荷電中和，無需額外的人為操作。

標配離子槍新增FIB(Focused Ion Beam)功能

● 在 PHI nanoTOF 3 中，液態(tài)金屬離子槍增加了 FIB 處理新功能，可使用單個離子槍進行橫截面處理和橫截面 TOF-SIMS 分析。
● 通過操作計算機，可快速輕松地完成從 FIB 處理到 TOF-SIMS 分析的全過程。此外，也具備冷卻條件下 FIB 加工能力。

通過平行成像MS/MS進行分子結(jié)構(gòu)分析

MS/MS平行成像同時采集MS1/MS2數(shù)據(jù)（）

● 在 TOF-SIMS 測試中，MS1 質(zhì)量分析分析器接收從樣品表面產(chǎn)生的所有二次離子碎片，對于質(zhì)量數(shù)接近的大分子離子，MS1 譜圖難以區(qū)分。通過安裝串聯(lián)質(zhì)譜 MS2，對于特定離子進行碰撞誘導解離生產(chǎn)特征離子碎片，MS2 譜圖可以實現(xiàn)對分子結(jié)構(gòu)的進一步鑒定。

● PHI nanoTOF 3 具備串聯(lián)質(zhì)譜 MS/MS 平行成像功能，可同時獲取分析區(qū)域的 MS1 和 MS2 數(shù)據(jù)，為分子結(jié)構(gòu)的精準分析提供了強有力的工具。