GF135 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器
半導(dǎo)體產(chǎn)品
金屬密封熱
使用 GF135 診斷式壓力變化補(bǔ)償型 (PTI) 質(zhì)量流量控制器確保關(guān)鍵流量過(guò)程的準(zhǔn)確控制并使通量?！爸悄堋辟|(zhì)量流量控制器，該產(chǎn)品執(zhí)行累積衰減比流量測(cè)定，無(wú)需停止過(guò)程氣體輸送。半導(dǎo)體制造商可利用該產(chǎn)品實(shí)時(shí)驗(yàn)證過(guò)程氣體流量準(zhǔn)確性、檢查泄漏情況并監(jiān)視傳感器穩(wěn)定性同時(shí)無(wú)需將流量控制器從氣路上拆除。
GF135 PTI MFC 將全金屬接液流路、穩(wěn)定功能和過(guò)程氣體精度相結(jié)合，能夠改變各種淀積工藝的生產(chǎn)效率和吞吐率。
特點(diǎn)
- 長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 ± 0.5%
- 穩(wěn)定時(shí)間短：<300 ms – <400 ms
- 滿量程流速：3 sccm 至 5 slm
- 4µ 英寸 Ra 表面處理
- 借助衰減率 (ROD) 技術(shù)實(shí)現(xiàn)的嵌入式實(shí)時(shí)流量故障檢測(cè)與預(yù)測(cè)功能
- 加強(qiáng)過(guò)程氣體測(cè)量精度 – 可提升三倍 – 經(jīng)氣體實(shí)測(cè)優(yōu)化的高級(jí)氣體建模功能
- 壓力變化補(bǔ)償 (PTI) 技術(shù)
- 高清晰度的可旋轉(zhuǎn)電子 LCD 顯示屏能夠本地顯示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡(luò)地址
- DeviceNet™、RS-485 和模擬接口
優(yōu)勢(shì)
- 實(shí)時(shí)流量故障檢測(cè)功能可快速地根據(jù)流量偏差進(jìn)行調(diào)節(jié)并能夠提高晶圓成品率
- 傳感器穩(wěn)定性跟蹤功能可通過(guò)預(yù)防性維護(hù)延長(zhǎng)系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)間
- 閥泄漏跟蹤功能有助于降低”晶圓效應(yīng)”
- 提高過(guò)程氣體測(cè)量精度，使其滿足挑戰(zhàn)性的 10 nm 級(jí)過(guò)程氣體化學(xué)控制要求
- 產(chǎn)品擁有穩(wěn)定速度，可減少非生產(chǎn)性流量穩(wěn)定步驟，支持 3D 設(shè)備加工
- 提高壓力變化補(bǔ)償能力并實(shí)現(xiàn)高級(jí)過(guò)程氣體控制，從而強(qiáng)化蝕刻和沉積控制
- 耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器擁有長(zhǎng)期穩(wěn)定性，可確保產(chǎn)率和通量
- 支持表面安裝和 VCR MFC 的插入式更換，便于對(duì)現(xiàn)有系統(tǒng)中的關(guān)鍵氣路進(jìn)行升級(jí)
應(yīng)用
- 半導(dǎo)體高級(jí)蝕刻工具
