SPR2000系列 粗糙度輪廓儀
產(chǎn)品特點
性能和成本的平衡,具有性價比。
高精度數(shù)字式輪廓傳感器
無導(dǎo)頭寬范圍粗糙度傳感器
大量程輪廓測量,微觀輪廓度測量
寬范圍粗糙度測量
高精度大量程粗糙度、高精度大量程輪廓測量的復(fù)合機型
技術(shù)規(guī)格 規(guī)格號 SPR1000 SPR2000 測量范圍 X軸 100~220mm Z軸 320~620mm Z1軸 C:0~±30mm/R:±420μm C:0~±30mm/R:±620μm 輪廓精度 Z1線性精度1 ±(1.5+|0.2H|)μm ±(0.8+|0.2H|)μm 圓弧2 ±(1.5+R/8)μm ±(1.5+R/12)μm 角度3 ±2 ±1 直線度 0.8μm/100mm 0.5μm/100mm 粗糙度精度 線性精度 ≤±(7nm+3.5%) ≤±(5nm+2.8%) 殘值噪聲 ≤0.025μm ≤0.005μm 重復(fù)性 1δ≤2nm 1δ≤1nm 截止波長 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm 評定長度 λCX2、3、4、5、6、7 驅(qū)動速度 X軸 0.1~10mm/s 0.05~15mm/s Z軸 0.5~10mm/s 0.2~15mm/s 測量功能 輪廓 各種類型工件表面的線要素,點要素、點與點的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑、可進(jìn)行直線度分析、凸度分析、輪廓度分析。 粗糙度 粗糙度功能:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr 波紋度參數(shù):Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr 原始輪廓參數(shù):Pa、Pt、Pp、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr