貨號 | 型號 | X1軸測量范圍mm | 垂直行程 | 花崗巖基座尺寸（WxD） | 尺寸（主機(jī)、WxDxH） | 重量（主機(jī)） |
218-421* | CV-3100S4 | 100 | 300mm電動立柱 | 600x450mm | 741x450x905mm | 140kg |
218-422* | CV-3100H4 | 100 | 500mm電動立柱 | 600x450mm | 741x450x1105mm | 150kg |
218-423* | CV-3100W4 | 100 | 500mm電動立柱 | 1000x450mm | 1118x450x1111mm | 155kg |
218-426* | CV-3100S8 | 200 | 300mm電動立柱 | 600x450mm | 741x450x905mm | 145kg |
218-427* | CV-3100H8 | 200 | 500mm電動立柱 | 600x450mm | 767x450x1105mm | 155kg |
218-428* | CV-3100W8 | 200 | 500mm電動立柱 | 1000x450mm | 1144x450x1111mm | 160kg |
218-461* | CV-4100S4 | 100 | 300mm電動立柱 | 600x450mm | 741x450x905mm | 140kg |
218-462* | CV-4100H4 | 100 | 500mm電動立柱 | 600x450mm | 741x450x1105mm | 150kg |
218-463* | CV-4100W4 | 100 | 500mm電動立柱 | 1000x450mm | 1118x450x1111mm | 155kg |
218-466* | CV-4100S8 | 200 | 300mm電動立柱 | 600x450mm | 741x450x905mm | 145kg |
218-467* | CV-4100H8 | 200 | 500mm電動立柱 | 600x450mm | 767x450x1105mm | 155kg |
218-468* | CV-4100W8 | 200 | 500mm電動立柱 | 1000x450mm | 1144x450x1111mm | 160kg |
X軸
測量范圍:100mm或200mm
分辨率:0.05μm
檢測方法:反射型線性編碼器
驅(qū)動速度:80mm/s和手動
測量速度:0.02-5mm/s
移動方向:向前／向后
直線度:0.8μm/100mm,2μm/200mm
*當(dāng)X軸在水平方向上指示精度:±(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4)
(20°C時(shí))±(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4)
±(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8)
±(0.8+0.02L)μm(CV-4100S8,H8,W8)
*L為驅(qū)動長度(mm)
傾斜范圍:±45°
Z2軸(立柱)
垂直行程:300mm或500mm
分辨率:1μm
檢測方法:ABSOLUTE線性編碼器
驅(qū)動速度:0-20mm/s和手動
Z1軸(檢測器)
測量范圍:±25mm
分辨率:0.2μm(CV-3100),0.05μm(CV-4100)
檢測方法:線性編碼器(CV-3100),
激光全息測微計(jì)(CV-4100)
指示精度:±(2+I4HI/100)μm(CV-3100)
(20°C時(shí))±(0.8+I2HI/100)μm(CV-4100)
*H為水平位置上的測量高度(mm)
測針上／下運(yùn)作:弧形運(yùn)動
測針方向:向上／向下
測力:30mN
跟蹤角度:向上：77°、向下：87°(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測針)
測針針尖半徑:25μm、硬質(zhì)合金針尖
基座尺寸(WxH):750x600mm或1000x450mm
基座材料:花崗巖
重量
主機(jī):140kg(S4),150kg(H4),155kg(W4),145kg(S8),155kg(H8),160kg(W8)
控制裝置:14kg
遙控箱:0.9kg
電源:100–240VAC±10%,50/60Hz
能耗:400W(限主機(jī))
批量校準(zhǔn)功能
?使用校準(zhǔn)規(guī)，可同時(shí)進(jìn)行設(shè)備的Z軸增益，對稱及針尖半徑的校準(zhǔn)。
*產(chǎn)品信息僅供參考，型號和技術(shù)參數(shù)生產(chǎn)廠家有可能隨時(shí)更改
