用途
●提高各種材料的粘接性、表面改質處理
●灰化、蝕刻處理
●塑料封裝前處理
●印刷基板鍍層前處理
●LED關聯(lián)部品處理
●電子部品清洗
●光刻膠剝離或表面殘留物去除
●光學、金屬、機械部品等精密部件的清洗
●包含氟化樹脂的樹脂類產品表面改質
●FCC對應
特征
●600W的小型高輸出功率
●電極可選擇1·2·3段（采購時）
●可處理縱型的試料收納盒
●可選擇RIE/DP模式（采購時）
●數據記錄器（選配）
●適配點記憶功能（選配）
| 型號 | PDC610 |
| 等離子模式 | RIE/DP（固定模式） |
| 電極構造 | 3段獨立平行平板（固定） |
| 高頻輸出 | Max600W |
| 頻率 | 13.56MHz |
| 控制·顯示方式 | PLC·觸摸屏 |
| 反應腔尺寸 | W350×D270×H300mm |
| 反應腔材質 | A5052 |
| 反應氣體 | 2系統(tǒng)（Ar、O2） |
| 填充氣體 | N2或干燥空氣 |
| 真空泵 | 油泵（約345L/分）·標配 |
| 外形尺寸 | W600×D722×H700mm |
| 外裝材質 | 不銹鋼 |
| 電源 | 3相,AC200,50/60Hz,15A |
