一、產(chǎn)品原理介紹：
（1）半導(dǎo)體清洗 光刻膠清洗機(jī)KT-S2DQX-C型等離子清洗機(jī)屬于13.56MHz的射頻電源清洗。作為一種精密干法清洗設(shè)備，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。
（2）該清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉體，有效容積為500ml，結(jié)構(gòu)為國際上的通用的真空石英法蘭密封結(jié)構(gòu)。采用了新型的外觀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù)，使其有效容積增大，不同真空氣體環(huán)境下容易匹配，且控制頻率穩(wěn)定。
（3）真空倉門有觀察窗，可直觀物體的處理過程，其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機(jī)箱內(nèi)，即減少了空間的占用，更便于操作和放置，同時(shí)與大型清洗機(jī)相比較，從檢測(cè)功能與控制功能的設(shè)置上均可一個(gè)面板上操作，特別適用科學(xué)實(shí)驗(yàn)樣品清洗和教學(xué)。
二、半導(dǎo)體清洗 光刻膠清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn)：
1.全自動(dòng)控制使用方便，更長的制程執(zhí)行時(shí)間
2.操作簡易和靈活標(biāo)準(zhǔn)的平臺(tái)安裝
3.快速實(shí)現(xiàn)客戶定制高效率——低發(fā)熱量
4.使用簡易，節(jié)省成本多功能前面板
5.高質(zhì)量、快速的服務(wù)和支持直觀的液晶顯示操作菜單
6.高純石英腔體減少樣品污染可定時(shí)功能，時(shí)間更精準(zhǔn)
7.射頻屏蔽安全可靠*緊急停止，應(yīng)對(duì)各種突發(fā)情況
三、智能控制滾筒等離子清洗機(jī)KT-G1DQX技術(shù)參數(shù)：
供電電源 | AC220V（AC110V可選) |
工作電流 | 整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 150W |
射頻頻率 | 13.56MHz |
頻率偏移量 | ＜0.2MHz |
特性阻抗 | 50歐姆，手動(dòng)匹配 |
耦合方式 | 電容耦合 |
真空度 | ≤50Pa |
腔體材質(zhì) | 高純石英 |
腔體容積 | Φ100mmX200mm |
旋轉(zhuǎn)速度 | 20轉(zhuǎn)/分鐘 |
氣體流量 | 0—300ml/min |
過程控制 | 手動(dòng)控制 |
清洗時(shí)間 | 手0-999秒 |
外形尺寸 | 615X390X560mm |
重量 | 56Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
標(biāo)配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2個(gè)，不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè)，電源線一根，說明書一本。 |
