全自動多功能掃描探針顯微鏡/AFM
技術參數:
測量模式: STM/ AFM (接觸 + 輕敲+非接觸)/ 橫向力/ 相位/ 力調制/力譜/粘附力/ 磁力/靜電力/ 開爾文/ 擴展電阻/納米壓痕/納米刻蝕: AFM (電壓刻蝕 + 力刻蝕)
掃描方式:樣品掃描
測量頭部:AFM和SPM(全內置自動切換),可選配液相模式和納米壓痕測量頭
樣品尺寸:直徑20mm,厚度10mm
XY樣品定位裝置:移動范圍5×5um,軟件控制電動定位
XY樣品定位裝置最小步進:
掃描范圍:100×100×10um(三維全量程閉環(huán)控制掃描器),3×3×2um(低電流模式掃描器)
XY方向非線性度:≤%(閉環(huán)控制掃描器)
Z方向噪音水平(帶寬10~1000Hz時的RMS值):閉環(huán)控制掃描器(典型值,),低電流模式掃描器()
激光光路系統(tǒng):電動調節(jié),全自動準直
視頻顯微系統(tǒng):軟件控制電動變焦和連續(xù)變倍,軟件控制變換視野,分辨率2um
樣品溫度控制:室溫~150℃
主要特點:
全自動化桌面型SPM
直觀易用的軟件界面
全自動切換AFM和STM掃描頭
自動調整激光光路(懸臂—激光—四象限光電探測器)
軟件控制的電動樣品定位平臺
視頻顯微鏡系統(tǒng)軟件控制電動聚焦和變倍
視頻顯微鏡系統(tǒng)軟件控制定位樣品觀察視野
電動開關樣品室門
切換不同的測量模式,軟件自動調節(jié)參數
人體工程學設計