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KOSAKA探針式輪廓儀ET4000

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海百賀儀器科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)ET4000
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/5/15 21:18:53
  • 訪問(wèn)次數(shù)189
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上海百賀儀器科技有限公司成立于上海。在中國(guó)銷售網(wǎng)絡(luò),以華東地區(qū)為中心,面向全國(guó)各地。是集售前支持和售后服務(wù)為一體的技術(shù)型企業(yè)。公司專業(yè)代理銷售*的材料測(cè)試儀器,產(chǎn)品來(lái)自歐、美、日等在行業(yè)內(nèi)的設(shè)備供應(yīng)商。公司擁有行業(yè)內(nèi)經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)人員與專業(yè)化服務(wù)團(tuán)隊(duì),可提供有效的設(shè)備技術(shù)支持,乃至實(shí)驗(yàn)室整體解決方案。

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日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000具有精確性高、穩(wěn)定性和重復(fù)性。
KOSAKA探針式輪廓儀ET4000 產(chǎn)品信息

日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000具有精確性高、穩(wěn)定性和重復(fù)性,可測(cè)量FPD、晶片、磁盤,和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺(tái)階高度和粗糙度等。堅(jiān)固的花崗巖材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度,并降低了地板噪音對(duì)測(cè)量的干擾。ET4000為滿足用戶不加τ梅較虻男枰峁┝碩嘀摯裳∨渲?,?uuml;∨淙上窀郊鬃盎箍梢約蟮乩┏湟瞧韉墓δ?、黚r />
日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000主要特點(diǎn)
1. 具有良的臺(tái)階高度重復(fù)性5Å (1σ)和線性度(垂直線性度:200nm以上為±0.25%;200nm以下為0.5nm);
2. 高分辨率,縱軸分辨率為0.1nm,橫軸為0.01μm,可精確測(cè)量納米級(jí)至幾百微米級(jí)臺(tái)階高度;
3. 高直線度: 0.005μm/5mm,可測(cè)定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等;
4. 低測(cè)定力:采用直動(dòng)力LVDT檢出器,觸針力在0.5μN~500μN范圍可以任意調(diào)節(jié),可測(cè)定軟質(zhì)材料;

5. 即時(shí)監(jiān)控系統(tǒng):配置標(biāo)準(zhǔn)CCD,可即時(shí)監(jiān)控量測(cè)位置;還可選購(gòu)Top View CCD,進(jìn)行高精度定位量測(cè);
6. 可擴(kuò)充成三次元設(shè)備和追加三次元解析軟件,觀察樣品全貌和測(cè)定臺(tái)階移動(dòng)量;
7. 采用天然金剛石(R2μm)作為探頭,經(jīng)久耐用;

日本KOSOKAE探針式輪廓儀T4000產(chǎn)品參數(shù)

型號(hào)

ET4000M

ET4000A

ET4000L

樣品尺寸

300x300mm

210x210mm

300x400mm

樣品臺(tái)

尺寸

320x320mm

220x220mm

540x400mm

X軸傾斜度

±1mm/150mm(機(jī)動(dòng)傾斜)

Y軸傾斜度

——

±1mm/150mm(機(jī)動(dòng)傾斜)

承重

2Kg

檢出器

0.5μN-500μN(0.05mgf-50mgf)可調(diào)節(jié)

范圍

100μm

驅(qū)動(dòng)

LVDT直動(dòng)式(差動(dòng)變壓器)

觸針

ET-1479(R2μm)

ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm)

X軸

測(cè)長(zhǎng)

100mm

直線度

0.005μm/5mm(0.1μm/100mm)

速度

0.005-2mm/s(定位速度10mm/s)

重復(fù)性

±5μm(定位)

Y軸

測(cè)長(zhǎng)

——

150mm

400mm

直線度

——

5μm/150mm

重復(fù)性

——

±5μm(定位)

Z軸

測(cè)長(zhǎng)

52mm

放大倍數(shù)

垂直

50-2000000

水平

1-10000

3D

——

可選擇

θ軸

——

可選擇

輔助功能

教學(xué)、機(jī)動(dòng)傾斜、傾斜度分析、檢出器自動(dòng)停止功能等

監(jiān)控系統(tǒng)

攝像裝置

1/2 inch CCD (768x494像素)

監(jiān)視裝置

視頻捕捉板

應(yīng)用

成像、臺(tái)階、粗糙度、波紋度和傾斜度

重復(fù)性

1σ0.5nm

電源

AC100V 800VA

外觀尺寸

W660xD580xH660mm 200Kg

W930xD930xH790mm 380Kg


日本KOSOKAE探針式輪廓儀T4000應(yīng)用
全自動(dòng)接觸式輪廓儀ET4000系列可適用于薄膜、 FPD、晶片、磁盤和與納米材料相關(guān)物件,測(cè)量微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等,可應(yīng)用于半導(dǎo)體、微量流控、精細(xì)加工和存儲(chǔ)器等行業(yè)。

15168338725
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