日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000具有精確性高、穩(wěn)定性和重復(fù)性,可測(cè)量FPD、晶片、磁盤,和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺(tái)階高度和粗糙度等。堅(jiān)固的花崗巖材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度,并降低了地板噪音對(duì)測(cè)量的干擾。ET4000為滿足用戶不加τ梅較虻男枰峁┝碩嘀摯裳∨渲?,?uuml;∨淙上窀郊鬃盎箍梢約蟮乩┏湟瞧韉墓δ?、黚r />
日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000主要特點(diǎn)
1. 具有良的臺(tái)階高度重復(fù)性5Å (1σ)和線性度(垂直線性度:200nm以上為±0.25%;200nm以下為0.5nm);
2. 高分辨率,縱軸分辨率為0.1nm,橫軸為0.01μm,可精確測(cè)量納米級(jí)至幾百微米級(jí)臺(tái)階高度;
3. 高直線度: 0.005μm/5mm,可測(cè)定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等;
4. 低測(cè)定力:采用直動(dòng)力LVDT檢出器,觸針力在0.5μN~500μN范圍可以任意調(diào)節(jié),可測(cè)定軟質(zhì)材料;
日本KOSOKAE探針式輪廓儀T4000產(chǎn)品參數(shù)
型號(hào) | ET4000M | ET4000A | ET4000L | |
樣品尺寸 | 300x300mm | 210x210mm | 300x400mm | |
樣品臺(tái) | 尺寸 | 320x320mm | 220x220mm | 540x400mm |
X軸傾斜度 | ±1mm/150mm(機(jī)動(dòng)傾斜) | |||
Y軸傾斜度 | —— | ±1mm/150mm(機(jī)動(dòng)傾斜) | ||
承重 | 2Kg | |||
檢出器 | 力 | 0.5μN-500μN(0.05mgf-50mgf)可調(diào)節(jié) | ||
范圍 | 100μm | |||
驅(qū)動(dòng) | LVDT直動(dòng)式(差動(dòng)變壓器) | |||
觸針 | ET-1479(R2μm) | ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm) | ||
X軸 | 測(cè)長(zhǎng) | 100mm | ||
直線度 | 0.005μm/5mm(0.1μm/100mm) | |||
速度 | 0.005-2mm/s(定位速度10mm/s) | |||
重復(fù)性 | ±5μm(定位) | |||
Y軸 | 測(cè)長(zhǎng) | —— | 150mm | 400mm |
直線度 | —— | 5μm/150mm | ||
重復(fù)性 | —— | ±5μm(定位) | ||
Z軸 | 測(cè)長(zhǎng) | 52mm | ||
放大倍數(shù) | 垂直 | 50-2000000 | ||
水平 | 1-10000 | |||
3D | —— | 可選擇 | ||
θ軸 | —— | 可選擇 | ||
輔助功能 | 教學(xué)、機(jī)動(dòng)傾斜、傾斜度分析、檢出器自動(dòng)停止功能等 | |||
監(jiān)控系統(tǒng) | 攝像裝置 | 1/2 inch CCD (768x494像素) | ||
監(jiān)視裝置 | 視頻捕捉板 | |||
應(yīng)用 | 成像、臺(tái)階、粗糙度、波紋度和傾斜度 | |||
重復(fù)性 | 1σ0.5nm | |||
電源 | AC100V 800VA | |||
外觀尺寸 | W660xD580xH660mm 200Kg | W930xD930xH790mm 380Kg |
日本KOSOKAE探針式輪廓儀T4000應(yīng)用