結(jié)合豐富的晶體生長經(jīng)驗(yàn)及光學(xué)、機(jī)械、電子等領(lǐng)域的專業(yè)經(jīng)驗(yàn),我公司研發(fā)了用于晶體生長的感應(yīng)加熱爐。
感應(yīng)加熱爐
參數(shù)
控制器控制提升機(jī)構(gòu)的提升速度、提升行程和速度
1.提升速度:0.2-10mm/h
2.提升行程:0-500mm
3轉(zhuǎn)速:0.5-40rpm
感應(yīng)參數(shù):
1.工作電壓:380V AC,50/60Hz,三相
2.輸出電流:42a(需要100a空氣開關(guān))
3.輸入電流:25 kW
4.振蕩頻率:30-80 kHz
5.循環(huán)率:80%
6.感應(yīng)線圈:外徑150mm x內(nèi)徑140mm x高90mm
7.保護(hù):配備水壓、超溫、超功率保護(hù)
溫度控制參數(shù):
工作電壓;208~240V交流,單相
采用PID溫度控制,可設(shè)置30個(gè)溫升和溫降程序
設(shè)置超溫和電偶斷開保護(hù)
溫度控制精度:+/-3oC
采用C型熱電偶,探頭伸入石墨坩堝內(nèi)
連續(xù)工作溫度:1000oC~2000oC
加熱速率:10oC/S(1000oC-1200oC)8oC/S(1200oC~1500oC)
爐體尺寸:內(nèi)徑為400mm,高度為700mm
密封法蘭
頂部法蘭:不銹鋼折疊法蘭,帶1/4“鎧裝接口(可插入熱電偶),安裝有頂閥
底部法蘭:底部法蘭接口為kf25接口,可通過波紋與真空泵連接
定制:可根據(jù)客戶需求定制選擇。
中科瑞晶(杭州)科技有限公司/上海光學(xué)精密機(jī)械研究所的高級工程師、工學(xué)碩士、博士可以為公司、學(xué)校、科研院所提供高溫爐設(shè)計(jì)方案。