主要用途
半導(dǎo)體制造裝置的溫度管理
主要特點(diǎn)
溫度范圍廣，溫控精度±0.5℃
溫度控制范圍-10℃～+70℃，制冷器連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)、通過(guò)控制加熱器進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性的恒溫水循環(huán)。
齊全的信號(hào)系統(tǒng)和安全裝置
可遠(yuǎn)程溫度設(shè)定和溫度監(jiān)視，齊全的安全裝置可實(shí)現(xiàn)操作信號(hào)的輸出。
高溫冷卻功能
在使用溫度范圍內(nèi)，由于冷凍機(jī)的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，可實(shí)現(xiàn)高溫冷卻功能。
所謂高溫冷卻：例如冷卻對(duì)象需要溫度維持在+80℃，但回流的循環(huán)液溫高于+80℃，此時(shí)就需要通過(guò)本機(jī)進(jìn)行高溫冷卻使循環(huán)液溫降到+80℃在流入冷卻對(duì)象。
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | CH-802BF |
| 使用溫度范圍 | ＋10℃～＋70℃（使用環(huán)境溫度范圍+5℃～+35℃）(*1) |
| 溫度調(diào)節(jié)精度 | 加熱器PID控制、±0.5℃(*2) |
| 冷卻能力(50Hz時(shí)) | 約1.9kW(*3) |
| 冷凍機(jī)功率 | 水冷式、750W |
| 加熱器功率 | 3kW |
| 溫度設(shè)定?表示 | 數(shù)顯式(設(shè)定溫度/槽內(nèi)溫度切換顯示) |
| 安全器／安全功能 | 漏電/過(guò)電流斷路器、高低溫、冷凍機(jī)異常報(bào)警、泵異常運(yùn)轉(zhuǎn)報(bào)警、溫度傳感器異常診斷、液體補(bǔ)充警報(bào)、防止空燒、反相繼電器 |
| 其他功能 | 溫度監(jiān)測(cè)器、遠(yuǎn)程溫度設(shè)定、安全器啟動(dòng)信號(hào)燈、外部溫度傳感器(*4) |
| 水槽容量（80%水位) | 約26L(*5) |
| 適用的泵 | P-32E、P-42、P-42 SUS仕様 |
| 所要一次冷卻水量 | +25℃的冷卻水：7.5L/mim +34℃的冷卻水：18L/min |
| 一次冷卻水連接口徑 | Rc1/2 |
| 外形尺寸(水泵) | 407×590×771Hmm |
| 重量(水泵) | 約90kg |
| 電源(水泵) | 三相AC200V?50/60Hz 15A |
| 運(yùn)轉(zhuǎn)電流(水泵) | 14A |
| 標(biāo)準(zhǔn)附件 | 電源線、排水用橡膠軟管、信號(hào)連接器 |
(*2)使用熱載體、使用環(huán)境溫度、熱負(fù)荷循環(huán)配管距離等因素可能會(huì)影響溫度性能的維持。
(*3)數(shù)據(jù)為使用清水做為循環(huán)液且液溫在+10℃、裝置單機(jī)時(shí)的冷卻能力。根據(jù)所搭載的泵的不同，冷卻能力也會(huì)有變動(dòng)。另外當(dāng)使用環(huán)境溫度達(dá)到+30℃時(shí)冷卻能力會(huì)下降。
(*4)外部溫度傳感器需另購(gòu)，敬請(qǐng)注意（φ4x250mm）。
(*5)本機(jī)為非封閉式構(gòu)造，因設(shè)定溫度、熱載體種類不同，會(huì)發(fā)生使用液體會(huì)有蒸發(fā)、減少現(xiàn)象。
